下麵的表（biǎo）格列出了推薦的MIDAS傳（chuán）感器盒的校準（zhǔn）用氣體或顛（diān）簸測試（shì）氣體：
在開（kāi）始進行校（xiào）準和顛簸測試之前請向（xiàng）您（nín）的1230SHOP服（fú）務代表谘詢經過批準的方法及材料。 

 

 

氣體名稱 化學式 範圍 傳感器盒部件（jiàn）編號

校準（zhǔn）氣體 推薦的（de）顛簸測試氣

體

氨（ān） NH3 0-100 ppm MIDAS-S-NH3 氨 氨

砷化三氫 AsH3 0-0.2 ppm MI DAS-S-ASH 砷化三（sān）氫 磷化氫

三氯化硼 BCl3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯

三氟化硼（péng） BF3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯

溴（xiù） Br2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯

二氧化碳 CO2 0-2.0% vol MIDAS-S-CO2 二氧化碳 二氧化碳

一氧化碳 CO 0-100 ppm MIDAS-S-COX 一氧（yǎng）化碳 一氧化碳

氯 Cl2 0-2.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯 氯

二氧化氯 ClO2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯

三氟化氯（lǜ） ClF3 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟（fú）化氫 氯

硼（péng）乙烷 B2 0-0.4 ppm MIDAS-S-HYD 硼乙烷 磷化氫

二氯甲矽烷（wán） H2SiCl2 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯

乙矽烷 Si2H6 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 矽烷 硫化氫

氟 F2 0-4.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯（lǜ） 氯

鍺烷 GeH4 0-0.8 ppm MIDAS-S-HYD Diborane Phosphine

氫 (% LEL) H2 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氫 氫

氫(ppm) H2 0-1000 ppm MIDAS-S-H2X 氫 氫（qīng）

溴化氫 HBr 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫（qīng） 氯

氯化（huà）氫（qīng） HCl 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫（qīng） 氯

氰化（huà）氫 HCN 0-20 ppm MIDAS-S-HCN 氰化氫 一氧化碳

氟（fú）化氫 HF 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯

硒化氫 H2Se 0-0.4 ppm MIDAS-S-HSE 矽烷 硫化氫

硫化氫 H2S 0-40 ppm MIDAS-S-H2S 硫（liú）化氫 硫化氫

甲（jiǎ）烷(% LEL) CH4 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氫 氫

二（èr）氧化氮 NO2 0-12 ppm MIDAS-S-NO2 二氧化（huà）氮 二氧化氮

一氧化氮 NO 0-100 ppm MIDAS-S-NOX 一氧化氮 一氧化氮

三氟（fú）化氮 NF3 0-40 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯

氧氣重組&不足 O2 0-25% vol MIDAS-S-O2X 氧氣 空氣

臭氧（yǎng） O3 0-0.4 ppm MIDAS-S-O3X 臭氧 氯氣

磷化（huà）氫 PH3 0-1.2 ppm MIDAS-S-PH3 磷化氫 磷化氫

氯氧化磷 POCl3 0-0.8 ppm MIDAS-S-POC 氯化氫 氯

矽烷 SiH4 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 矽烷 硫化氫

矽烷(低級別) SiH4 0-2.0 ppm MIDAS-S-SHL 矽烷 硫（liú）化氫

二氧化硫 SO2 0-8.0 ppm MIDAS-S-SO2 二氧化硫 二氧化硫

四氟化硫 SF4 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟化氫 氯

正矽酸乙酯 TEOS 0-40 ppm MIDAS-S-TEO TEOS 一氧化碳

六氟化（huà）鎢 WF6 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟（fú）化氫（qīng） 氯

 目標氣體 化學式 傳感器盒部件編號 範圍 (ppm) 推薦顛（diān）簸測試氣體濃（nóng）度
(ppm)
流（liú）率
(cc/min)
最大時間
氨 NH3 MIDAS-S-NH3 100 氨 50 500 120
砷化三氫 AsH3 MIDAS-S-ASH 0.2 磷化（huà）氫 0.5 500 120
三氯化硼 BCl3 MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
三氟化硼（péng） BF3 MIDAS-S-HFX 8 氯 5 500 120
溴（xiù） Br2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低（dī） 500 120
二氧化（huà）碳 CO2 MIDAS-S-CO2 2% v 二氧化碳 2% v 500 120
一氧化碳 CO MIDAS-S-COX 100 一氧化碳（tàn） 100 500 120
氯 Cl2 MIDAS-S-HAL 2 氯 2 500 120
二氧化氯 ClO2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低 500 120
三氟化氯 ClF3 MIDAS-S-SF4 0.8 氯 低 500 120
硼乙烷 B2H6 MIDAS-S-HYD 0.4 磷（lín）化氫 0.5 500 120
二（èr）氯甲矽烷 SH2Cl2 MIDAS-S-HCl 10 氯 5 500 120
乙矽烷 Si2 MIDAS-S-SHX 20 硫化氫 < 25 500 120
氟 F2 MIDAS-S-HAL 4 氯 5 500 120
鍺烷 GeH4 MIDAS-S-HYD 0.8 磷化氫（qīng） 0.5 500 120
氫 H2(ppm) MIDAS-S-H2X 1,000 氫 1000 500 120
氫 H2(%LEL) MIDAS-S-LEL 100% LEL 甲（jiǎ）烷 500 120 

 

 在安裝MIDAS氣體探測器時，下麵是一些應（yīng）考慮的因（yīn）素：
1. 將探測（cè）器安裝在適於其麵積和重量的水平且堅固的表麵上。
2. 使用提供的鑽孔模板鑽孔用於固（gù）定接頭。
3. 使用（yòng）適於所選（xuǎn）表麵安裝的固定接頭（tóu）。
4. 確保固定接頭的頭圍不會妨（fáng）礙（ài）終端（duān）PCB。
5. 考慮電線/電纜的重要（yào）和其安裝應力。
6. 定（dìng）位該探測器以便可以（yǐ）輕（qīng）易訪問。
7. 定位該探（tàn）測器以便（biàn）其處於可清晰查看顯示器的合適的（de）高度（正常情況下到眼睛的高度）。
8. 考慮移除探測器機殼和鎖定/解鎖傳（chuán）感器盒鎖箍所需（xū）的空間。
9. 考慮樣品進口和（hé）排氣（qì）管道（遠程監測（cè））和進口過濾器（本地監（jiān）測）所需的空間。
10. 考慮電纜或電線接入（rù）所需的空間。
5.2 機械安裝
下列步驟和圖示講述了如何將（jiāng）安裝托架總成（chéng）從主機架上分離並將其安裝到垂直（zhí）平麵上。
1. 旋開位於前麵板上的翼形螺釘（dìng）。
2. 將機殼向前推直至脫離主機架，以此來移除機殼。
3. 旋開位於機架底部前側的固定螺釘。
4. 使用一隻手固定住安裝托架總成，使用另一支手小心（xīn）向前推主機架，直到從安裝托（tuō）架總成上斷連為止。
5. 使用提供的鑽孔模板鑽兩個垂直分開的58.50 mm 的孔，用於2 x 圓頭M4 固定螺釘。
6. 部分地將（jiāng）固定（dìng）接頭旋入安裝（zhuāng）麵。
7. 將（jiāng）安裝托架總成置於螺釘上（shàng）方，以便它們通過該安裝孔，然後（hòu）滑下定位在槽中。
8. 旋緊螺（luó）釘（dìng），固定安裝托架總成（chéng）。 

 

 安裝傳感器盒
MIDAS 傳感器盒是（shì）單獨供應的，需要安裝到探測器的主機架（jià）上。 下麵（miàn）的（de）步驟和圖示詳細描述了首次安
裝傳感器盒的程（chéng）序。執（zhí）行該程序（xù）時（shí），應關閉電源，移（yí）除探測器（qì）機殼。
1. 拆包，取出傳感器盒
2. 檢查（chá）傳感（gǎn）器盒的零部件編號和型（xíng）號是否正確
3. 通（tōng）過日期檢查觸發
4. 將位於傳感器頂端的銷釘（dìng）和（hé）傳感器暗盒腔中的插座對齊（qí）。
5. 小心（xīn）將傳感器盒（hé）推入傳感器暗盒腔直到完全吻合
6. 使用傳感器盒的任何一邊的定位片將傳感（gǎn）器盒鎖定到位，從而將傳感器（qì）盒鎖定到主機架上
7. 將位於終端模塊上的電源開關切換到“開”位置（zhì）
8. 將（jiāng）任何一邊的槽和安裝（zhuāng）托架總成上的定位片對其（qí），重裝探測器機殼。
9. 水平推機殼，直至完全吻合
10. 旋緊位於前麵板上的（de）翼形螺（luó）釘
圖20. 安裝傳感器盒
如何安裝機（jī）殼
機（jī）架
旋緊
槽
傳感器（qì）盒 已安裝的盒
定位片
6 探（tàn）測器啟動程（chéng）序
警告
執行任何（hé）作業前， 確保遵守（shǒu）本地和現場程序。確保相關的控製麵板處於禁止狀態，以便防止錯誤報警。
認真遵守下列程序，正確培訓過的人（rén）員才能執行該程序。
1. 確保探測器按照第5.6 和5.7 部分正確布線。
2. 確保安裝正確的傳感（gǎn）器盒。（如果傳感器盒未（wèi）以室溫存儲，則首先拿出一個小（xiǎo）時進行（溫度）平衡（héng））。
3. 確保安裝（zhuāng）托架總成（chéng）上的開/關開關處於“開”位置。
4. 為係統供電
5. 啟動程序之後， 探測器將顯示正常的操作模式（shì），如（rú）第（dì）7 部分所示。
6. 如果使用一（yī）個多氣體傳感器盒，請參考第8.2.2 部分，確保選擇正確的氣（qì）體標識碼。
7. 將傳感器穩定後，使用（yòng）下表以確定最大（dà）的傳感器盒預熱時間。 

 

 

 找出（chū）故障並診斷
總體故（gù）障指導及具體故障代碼（mǎ）表
表20. 故障代碼描述（shù）
故障
代碼
描述（shù） 狀況 修複
m10 超（chāo）出範圍 已監測到一個巨大的氣（qì）體濃度。
MIDAS需要單獨確認氣體（tǐ）危害
已經消失。
為MIDAS提供已（yǐ）知的幹淨氣體（tǐ）解除本故障
m11 校（xiào）準很快（kuài）過期 用戶指定的校（xiào）準間距消失了。 校準零點與間距（jù），加長間（jiān）距校準時間
m1 2 傳感（gǎn）器很快過期 傳感器很舊，很（hěn）快就要過期了 將傳感器更換為新品
m1 3 流量低 MIDAS不（bú）能再調節流量 檢查過濾器和泵（bèng）
m1 4 存在幹擾 有（yǒu）幹（gàn）擾（rǎo）使MIDAS檢測氣體的能
力降低
檢查設備
m1 5 溫度（dù）接近極限 溫度在極限的2 攝氏度以內 檢（jiǎn）查安裝環境
m16 基線（xiàn）的故障 傳感器基線飄移 檢查背景的氣體濃度、溫度及濕度（dù）波動。校準零點，更換
盒
m1 7 禁止時效 發送器長時間處於禁止模（mó）式 繼續監控或增加時效數值
F40 傳感器過量. 傳感器廠時間曝露在高氣體濃度（dù）
中
更換傳感器
F41 基線（xiàn）的故障. 傳感器基（jī）線飄移 檢查背景的氣體濃度、溫度及濕度波動。校準零點，更換
傳感器
F42 校準（zhǔn）過期（qī） 上次校準時（shí）間距現在時間過長 將盒更換或校（xiào）準
F43 傳感器過期 傳感器的時間太長 更換傳感器
F44 電池（chí）問題 傳感器沒（méi）有通過Reflex 檢查 更換傳感器
F45 穩定化超時 盒的穩定化故障 I.如果（guǒ）溫度或濕度的振動仍然存在，對盒進行預校準；檢查
背（bèi）景氣體濃度；更（gèng）換（huàn）盒
F46 盒的模擬故障 各種原因 更換傳感器
F47 傳感器的存儲（chǔ）器（qì）無效 總（zǒng）和檢查錯誤 更換傳感器
F48 無傳感器 無傳播 重設傳感器；更換傳感（gǎn）器
F49 傳感器的類型不正確（què） 在引導後發現暗盒腔的類型不正
確
更換傳（chuán）感器
F80 超出（chū）溫度界線（xiàn） 溫度在界線之（zhī）外 檢查安裝環境
F81 流量故障 流（liú）量超（chāo）過15 秒小於額定流量的
70%
檢查過濾器；檢查是否（fǒu）有管打結（jié）， 更換泵
F82 額外的電噪音 內部電子設備（bèi）重複發出噪音 檢查MIDAS底盤的接地；檢查電（diàn）纜護套的終端；將
MIDAS重（chóng）新放（fàng）置在離噪音源更遠的地點；給電纜加上鐵氧
體電感
F83 熱解器故障（zhàng） 熱解器（qì）不能（néng）加（jiā）熱 檢查熱解器（qì）的電源（yuán）連接；更換加熱器；更換熱解器
F84 其他（tā）發送器故（gù）障 發送器有缺陷 維修或（huò）更換MIDAS. 

 

 

 MIDAS插入式（shì）傳感器盒（標準保修（xiū）期）
MIDAS氣（qì）體發送器（qì）的插入式傳感器盒是單獨出售的，帶有一年（12 個月）的標準保修（xiū）期。關於傳感器盒（hé）
的延期保修，參考第16.5 部分。一些（xiē）傳感器盒可以設置成（chéng）測試一種（zhǒng）以上的目標氣體。氣（qì）體、範圍以及帶
有標準質保（bǎo）的可用傳（chuán）感器盒零部件編號（hào）已列表如下：
描述 範圍 零部件編號
氨 0-100 ppm MIDAS-S-NH3
砷化三氫 0-0.2 ppm MIDAS-S-ASH
三氯（lǜ）化硼 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
三氟化硼 0-8 ppm MIDAS-S-HFX
溴 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2
氯（lǜ） 0-2 ppm MIDAS-S-HAL
二氧化氯 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2
三氟化氯（lǜ） 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4
二氧化碳 0-2.0% vol MIDAS-S-CO2
一氧化碳 0-100 ppm MIDAS-S-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm MIDAS-S-HYD
二氯甲矽烷 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
乙矽烷 0-20 ppm MIDAS-S-SHX
氟 0-4 ppm MIDAS-S-HAL
鍺烷 0-0.8 ppm MIDAS-S-HYD
氫* 0-1000 ppm MIDAS-S-H2X
氫（qīng） 0-100% LEL 1 MIDAS-S-LEL
溴化氫 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
氯化氫（qīng） 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
氰化氫 0-20 ppm MIDAS-S-HCN
氟化氫 0-1 2 ppm MIDAS-S-HFX
硒化氫 0-0.4 ppm MIDAS-S-HSE
硫化氫 0-40 ppm MIDAS-S-H2S
甲烷（wán） 0-100% LEL 1 MIDAS-S-LEL
一氧化氮 0-100 ppm MIDAS-S-NOX
二氧化氮 0-1 2 ppm MIDAS-S-NO2
三氟化氮（dàn） 0-40 ppm MIDAS-S-HFX
氧氣（qì） 0-25% v MIDAS-S-O2X
臭氧 0-0.4 ppm MIDAS-S-O3X
磷化氫 0-1.2 ppm MIDAS-S-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm MIDAS-S-POC
矽烷 0-20 ppm MIDAS-S-SHX
矽烷，低級別 0-2 ppm MIDAS-S-SHL
二氧化硫 0-8 ppm MIDAS-S-SO2
四氟化硫 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4
TEOS 四乙基原矽酸酯 0-40 ppm MIDAS-S-TEO
六氟化鎢 0-12 ppm MIDAS-S-HFX
1 MIDAS 探測器並未經過ETL 批準而用於在高於（yú）25% LEL 的分類區域進行監測或取（qǔ）樣。 

 MIDAS插入式傳感（gǎn）器盒（延長保修期（qī））
MIDAS氣體發送器的插入式傳感器盒是單獨出售的，帶有二年（24 個月）的延長保修期。一些傳感器盒
可以設置成測試一種以上的目標氣體。氣體、範圍以及帶有標準質保的可用傳感器盒零（líng）部件（jiàn）編（biān）號已列表如
下：
描述（shù） 範圍 零部件編號
氨 0-100 ppm MIDAS-E-NH3
砷化三氫 0-0.2 ppm MIDAS-E-ASH
三（sān）氯化硼 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
三（sān）氟化（huà）硼 0-8 ppm MIDAS-E-HFX
溴 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
氯（lǜ） 0-2 ppm MIDAS-E-HAL
二（èr）氧化氯 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
三氟化氯 0-0.8 ppm MIDAS-E-SF4
二氧化（huà）碳（tàn） 0-2.0% vol MIDAS-E-CO2
一（yī）氧化碳 0-100 ppm MIDAS-E-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm MIDAS-E-HYD
二氯甲矽烷 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
乙矽烷 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
氟 0-4 ppm MIDAS-E-HAL
鍺烷（wán） 0-0.8 ppm MIDAS-E-HYD
氫（qīng） 0-1000 ppm MIDAS-E-H2X
氫 0-100% LEL1 MIDAS-E-LEL
溴化氫 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
氯化氫 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
氰化氫 0-20 ppm MIDAS-E-HCN
氟化氫 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
硒化氫 0-0.4 ppm MIDAS-E-HSE
硫化氫（qīng） 0-40 ppm MIDAS-E-H2S
甲（jiǎ）烷 0-100% LEL1 MIDAS-E-LEL
一氧化氮 0-100 ppm MIDAS-E-NOX
二氧化氮 0-12 ppm MIDAS-E-NO2
三氟化氮 0-40 ppm MIDAS-E-HFX
氧氣 0-25% v MIDAS-E-O2X
臭氧 0-0.4 ppm MIDAS-E-O3X
磷化氫 0-1.2 ppm MIDAS-E-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm MIDAS-E-POC
矽烷 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
矽烷 低級別 0-2 ppm MIDAS-E-SHL
二氧化硫 0-8 ppm MIDAS-E-SO2
四氟化（huà）硫 0-0.8 ppm MIDAS-E-SF4
TEOS 四乙（yǐ）基原矽酸酯 0-40 ppm MIDAS-E-TEO
六氟化鎢 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
1 MIDAS 探（tàn）測器並未經過（guò）ETL 批準而用於在高於25% LEL 的分（fèn）類區域進行監測或取樣。