GateKeeper®GPU氣體淨化（huà）器

GPUS2500FIX08R00CA，

GPUS2500FHX08R00CA，

 

純化器大量應用於電子半導體、芯片行業、微電子（zǐ）行業。

 

GateKeeper®GPU係列淨化器旨在提高工藝氣體（tǐ）的一致性（xìng），使用（yòng）壽命和出口純度（dù）。

 

純度達到（dào）ppt級別

廣泛的氣體相容性，包括腐（fǔ）蝕性氣體，如Cl2, HBr, HCl, CF4, SO2, SF6

淨化器（qì）壓降低

通過CE壓力設備指令PED認證，並在（zài）ISO 9001-2000工廠生產

可再生-消除處理問題和成本

長壽命-提（tí）高擁有成本

使用環境溫度淨化

看門人®

GPU

HX Media氣體淨化器

高純度控製

設計了integris的（de）GateKeeper®GPU氣體淨化器

提高純度的一致性，使用壽命和最終純度

高純度氣體至關重要的微電子應用。

利（lì）用我們在材（cái）料科學（xué）方麵（miàn）的專業知識，我們開發了

提供新一代HX氣體淨化產品

無（wú）與倫比（bǐ）的價值和性能（néng）。

應用程序（xù）

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•半導體

•數據（jù）存儲

•平板（bǎn）顯示

•領導

•太陽能

特點和優點

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工藝控製和保（bǎo）護純度控製在十（shí）億分之一(ppb)以下

低壓降通過淨化器

CE壓力設備（bèi）指令(PED)認證

在ISO®9001:2015設施中生產（chǎn）

具有成本效益的可再生（shēng）-消除處（chù）理問題和成本

長（zhǎng）壽命-提高擁有成本

使用環境溫度淨化-無需加（jiā）熱或電源

需要操作

對方向不（bú）敏感(水平/垂直)