China Hi-Tech Service Bulletin

MIDAS-T-NP1 熱裂解（jiě）器安裝指導說明

1，Midas-T-NP1 裂（liè）解器可以探測的氣體（tǐ）和 Sensor 類型

 

 Midas-T-NP1 裂（liè）解器對本體版本要求：軟件版本不低於 V1.10；不正確的 Sensor 類型和本（běn）體

軟件版本（běn），不能（néng）啟動 NP1，將會報故障 F90。

2，Midas-T-NP1 裂解器安裝要求（qiú）及（jí）典（diǎn）型問題

 過（guò）濾器：NF3 必須安裝氟利昂過濾器（1830-0027），其（qí）他氣（qì）體不能安裝氟利昂過濾器。 

所有（yǒu）氣體都強烈建議安裝灰塵過濾器（780248）。

 Midas-T-NP1 裂解器安裝完成後（hòu），用轉子（zǐ）氣體流量計在過濾器（如有）下端檢查流量，標準

為（wéi） 500sccm；裂解器剛啟動時，通過網頁確認流經裂解器加熱元器件的流（liú）量（55-120sccm)；待

裂解器（qì）穩定運行時（320 ̊C±25 ̊C）,再次確認流經裂解器加熱元器件的流量（liàng）（最佳值 75sccm,範

圍：55-120sccm，超出此範圍將報 F92），裂解器溫度和流量都（dōu）在範圍之內，無故障出現，NP1

即可正常工作。

 典（diǎn）型問題：

 a. 轉子流量計沒有流量：檢查整個氣路的氣（qì）密性，重新安裝裂解器，注意進氣（qì）管是否自然（rán）垂

直，有無扭曲。

 b. 轉子流量計流（liú）量低：進行流量標（biāo）定，如果標定不成功，檢查本體的泵能力，更換泵或本

體。

 c. 裂解器（qì）達到額定工作溫度時，本（běn）體或流經裂（liè）解器（qì）的流（liú）量不穩定，通過流量標定來調節穩

定。

3，Midas 探測器流量標定

 流量標定步驟：

a. 常按（àn）上下鍵後選（xuǎn）擇進（jìn）入（rù） CAL 菜單；

b. 打勾進入選擇（zé） Flow，打勾確認進入零點標定；

c. 成功後（hòu）進入（rù） 500sccm 標定，根（gēn）據外部流量計（jì）通（tōng）過上（shàng）下鍵調節（jiē）實際流量到 500sccm；

d. 重複步驟（zhòu） 3 標定第二點（600/650sccm).

e. 完成流量（liàng）標定後退出，進入監控模式。

 

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 圖一 流量標定步驟（zhòu）示意圖（tú）

 圖二 流量檢查示意圖

圖三 裂解器流量和溫度信息（一） 圖四 裂解器流量和（hé）溫度信息（二）

 

4, 流經裂解器流量調節

 流經裂解器加熱元器件的流量不在範圍之內(55-120sscm)：通過裂解器（qì）標簽下麵的流量調節螺

絲來調節流經裂解器的流量（參考網頁上顯示的裂解器流量（liàng），本體默認 IP:169.254.60.47,工具

BULLETIN NUMBER: 2018-001 1/25/2018

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為 2.5mm 的內六角扳手（shǒu））

 a, 確認 F92 是由流量原因引起的，網頁上裂解器流量不在 55-120sccm 範圍內，Midas 本體的

Event History 內（nèi） F92 的 Data 是 0x1000。

 b, 撕開 NP1 裂解器的標簽（qiān），發現（xiàn）如圖五的內六角螺絲，此螺絲即為裂解器流量調節螺絲。

 c, 打開 Midas 網頁，在裂（liè）解器達到穩（wěn）定工作溫度時（320 ̊C±25 ̊C），觀察流經裂解器的流

量（liàng）；如果裂解器的流量低（低於 55sccm）如圖六，順（shùn）時針調節內六角螺絲增大流量，直（zhí）到穩定（dìng）

的流量達到 75-100sccm；如果裂（liè）解器的流量高（高於 120sccm）如圖七，逆時針調節內六角螺

絲（sī）減小流量，直到穩定的流量達到 75-100sccm 如（rú）圖八；然後（hòu）複位 F92 故（gù）障。

 d, 如果裂解器（qì）溫度不能上升，直接按照步驟 c 順時針調節內六角（jiǎo）螺絲增大流量，直到穩定的

流量達到 75-100sccm。

 e, 如果調節內六角螺絲不能使流經裂解器的（de）流量在 55-120sccm 範圍內，請把 NP1 裂解器寄（jì）

給 Honeywell 檢查。