Wafergard SG YY 係（xì）列氣體過濾器提供卓越的微粒（lì）過濾功能，可最大限度地提高光伏電池和顯示器製造的（de）產量。 

與高（gāo）純度氣體、惰性氣體（tǐ）和 CDA 應用具有出色的（de）相容性
卓越的下遊清潔度
應（yīng）用
Wafergard SG 氣（qì）體過濾器應用
光伏工藝氣體
顯示製造工藝氣體
煤氣櫃
閥組箱
煤氣板（bǎn）
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號（hào）
零件號 產品類別 最（zuì）大流量 接頭尺寸和（hé）類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣（qì）體過濾器 120 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾（lǜ）器 120 升/分 1/4" 壓縮密（mì）封（與 Swagelok 兼容） 115.5 毫（háo）米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過（guò）濾（lǜ）器 120 升/分（fèn） 1/2" 墊（diàn）圈密封（fēng）（兼容（róng） VCR） 133.5 毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮（suō）密封（與 Swagelok 兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈（quān）密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出口 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣（qì）體過濾器 500 升/分（fèn） 1/4" 墊圈（quān）密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體（tǐ）過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈密封（fēng）（兼容 VCR） 127 毫米（mǐ）（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾（lǜ）器（qì） 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與（yǔ） Swagelok 兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾（lǜ）器 1000 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣（qì）體過濾器（qì） 1000 升/分 1/2" 壓縮（suō）密封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（fēng）（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣（qì）體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升（shēng）/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過（guò）濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（mǐ）（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")
  

 Wafergard SG YY 係列氣（qì）體過濾器提供卓（zhuó）越的微粒過濾功能，可最大限（xiàn）度地提高光伏電池和顯示器製造的產量。 

與高純度（dù）氣體、惰性氣體和 CDA 應用具有出色的相容（róng）性
卓越（yuè）的下遊清潔度
應用
Wafergard SG 氣體過濾器應用（yòng）
光伏工藝氣體
顯示製造工藝氣體
煤氣（qì）櫃
閥組箱
煤氣板
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號
零件號 產（chǎn）品類別 最（zuì）大流量（liàng） 接頭尺寸和類型 長（zhǎng）度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器（qì） 120 升/分 1/4" 墊圈密封（fēng）（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器（qì） 120 升/分（fèn） 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 133.5 毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體（tǐ）過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊（diàn）圈密封（與 VCR 接頭兼容）外（wài）螺紋入（rù）口/內螺（luó）紋出口 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容（róng） VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈（quān）密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過（guò）濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分（fèn） 3/8" 壓縮密封（fēng）（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣（qì）體過濾器 1000 升/分 1/2" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣（qì）體過濾（lǜ）器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾（lǜ）器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼（jiān）容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫（háo）米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升（shēng）/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")
  

 Wafergard SG YY 係列氣體（tǐ）過（guò）濾器提供卓越（yuè）的微粒過濾功能，可最大限度地提高光伏電池和顯示器製造的產量。 

與高純度氣體（tǐ）、惰性氣體和 CDA 應用具有出色的相容性
卓越的（de）下遊清潔度（dù）
應用
Wafergard SG 氣體過濾器應用
光伏（fú）工藝氣體
顯示（shì）製造工（gōng）藝氣體
煤氣櫃
閥組箱（xiāng）
煤氣板
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號
零件號 產品類（lèi）別 最大流量 接頭尺寸和類（lèi）型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升（shēng）/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 壓縮密封（與（yǔ） Swagelok 兼容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈（quān）密（mì）封（兼容 VCR） 133.5 毫米（mǐ）（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密封（fēng）（與 Swagelok 兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升（shēng）/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾（lǜ）器 500 升/分 1/4" 墊圈（quān）密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺（luó）紋出口 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升（shēng）/分 1/4" 墊圈密封（fēng）（兼（jiān）容 VCR） 127 毫米（mǐ）（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫（háo）米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過（guò）濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與（yǔ） Swagelok 兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過（guò）濾（lǜ）器 1000 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升（shēng）/分 1/2" 壓縮密（mì）封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體（tǐ）過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")