為超純氣體係統過（guò）濾提供（gòng）卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓（yā）力應用的理（lǐ）想選擇。

最先進的外殼組件通（tōng）過最小化焊接區域來消除除氣
全金屬結構（gòu）是高溫和動態壓力應用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最（zuì）高的設計效率並最大限度地降低了（le）工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純氣（qì）體管線（xiàn）
高溫應（yīng）用
新工廠建設
動壓應用
惰（duò）性和活性氣體
產品規格

材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
  住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
  揮發（fā）物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
  Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
  Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
  Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
  Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
    Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
 零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號（hào） 接頭尺（chǐ）寸和類型 長度
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入（rù）口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與（yǔ） VCR 接頭（tóu）兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替（tì）金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊（diàn）圈（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）