美國（guó）原裝（zhuāng）BROOKS電容壓力計CMCAT1132BR

美國原裝BROOKS電容壓力計CMCAT1132BR

美國原裝BROOKS電容（róng）壓（yā）力計CMCAT1132BR

美（měi）國原裝BROOKS電容壓力計CMCAT1132BR

美（měi）國原裝布（bù）魯（lǔ）克斯BROOKS電容壓力計CMCAT1132BR

美國原裝布魯（lǔ）克斯BROOKS電容壓力計CMCAT1132BR

使真空依賴（lài）型工藝的效（xiào）率和性能大化：選擇布魯克斯儀器的（de） XacTorr® 係列數字式真空電容壓力計。XacTorr® 係列設備同時擁有（yǒu）各種（zhǒng）業內領（lǐng）先（xiān）的功能技術，可（kě）提升測量可靠性、大限度減少漂（piāo）移、耐（nài）隔膜汙染並能（néng）夠（gòu）使熱效應小化。

先進的 Mark-IV 傳感器提（tí）供不用於（yú）壓力測量的（de）表麵區域 – 可用於累積顆粒和可壓縮蒸汽。因此減少了儀（yí）表重新調零的工作、延長了（le）傳感器壽命並且不會帶來傳感器漂移風險。此外，還有快速響應傳（chuán）感器可供選擇，用於提供高級閉環控製性能。

結果：超（chāo）精確、可重複並（bìng）且高效的真（zhēn）空度（dù）測量，可確保每次（cì）對倉室壓力進行（háng）抽真空（kōng）時都能夠準確使其達到工藝所需的目標 Torr 值（zhí）以實現潔淨（jìng）、無汙染生產。

特（tè）點
適用（yòng）於 0.10 Torr - 1000 Torr 過程真（zhēn）空度範（fàn）圍
有多種（zhǒng）精度水平可供選擇
Mark IV 專利（lì）傳感器
數字化架構可實現超高精確度的寬動（dòng）態範圍操作
雙區域溫（wēn）控功能可提高（gāo）測量穩定性和可重現性
多段數字校準功能可提供高（gāo）級窗口顯示已知精度
智（zhì）能觸控（kòng）式零點調節
可單獨輕鬆訪問的（de）診斷維護端（duān）口
DeviceNet® 和模擬通信選件
優勢
漂移較低，能夠為過程氣體沉積提供極好的保護
無需使用手動電位計，不存在電子漂移
快速預熱、閉（bì）閥溫度控製並能夠根據變化做出快速響應
多段校準功（gōng）能可提供高級窗口顯示已知精度以及對環境溫度影響的實時（shí）補償
如果壓力（lì）過高或者（zhě）未達到（dào）目標溫度則無法（fǎ）調零
診斷端（duān）口允許用戶在（zài）設備運行期間提供監視和數據采集功能，實現倉室和（hé）工具匹配以及“實時（shí）”高級故障排除
應用
超導（dǎo）體製造
薄膜沉積（jī）工藝 – 玻璃、網格和光學（xué）塗層
凍幹易腐（fǔ）材料
適用於醫療儀器的高科技塗層（céng）（手術儀器、牙鑽（zuàn）等）