美國MKS 640B 集成絕對壓力控製器，640B-29652現貨3台

 產品 壓力控製器和閥（fá）門 壓（yā）力控製器 集成（chéng）上遊和下遊壓（yā）力（lì）控製器 640B 集成絕對壓（yā）力控製器
640B 集成絕對壓力控（kòng）製（zhì）器
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640B 絕對壓（yā）力控製器（qì）是一個獨立的、緊湊（còu）的閉環電子壓力控製係統（tǒng），包含一個 Baratron 電容壓力計、常閉（bì）比（bǐ）例控製（zhì）閥和閉（bì）環控製電子設備。640B 在電氣方麵類似於標準 MFC，由 ±15 VDC 供電，電流僅為 200 mA，允許與標（biāo）準電（diàn）源和（hé）顯示電子設備一（yī）起使用。壓力輸出和輸（shū）入控製信號為線性 0-5 或 0-10 VDC。兩個帶 LED 狀態指示燈的跳變點用（yòng）作簡單的開/關過（guò）程限製。

集成 Baratron 電容壓力計技術
低壓過程的滿量（liàng）程範圍低至 10 Torr
可與上遊或下遊控（kòng）製器應用程序（xù）一起使用
用於過程限製控（kòng）製（zhì）的兩個報警觸發點

 

 比較模型圖紙、CAD 和規格壓力範圍流速可用性價格640B11TW1M12M絕對壓力控製器，10 Torr，200 sccm，4 VCR-M，金屬密封，金屬閥塞  10托200 標準立方厘米
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 描述640B絕對壓（yā）力控製器，閉環，640B
 引用
規格
類型
640B 絕壓控製（zhì）器（qì）
壓力範圍（wéi）
10、100、1000 mmHg（托（tuō））、60、100 psi（滿量程（chéng））
配件類型
4 VCR、8 VCR、0.25 英寸管或表麵貼裝
流速
50、200、1000、5000、10000、20000、50000 sccm（N2 的標稱滿量程流速，入口壓力為 15 psig，出口壓力為大氣壓）
跳閘點
兩個集電極開路晶體管（guǎn）
額定值：250 mA @ 30 VDC
可調：滿量程的 1 至 100%
遲滯：滿（mǎn）量程的 3%
指示器：啟動時綠色 LED 亮起
壓力控製精度
滿量程的 ±0.2%
傳感（gǎn）器超壓限製
45 psia 或 2x 滿量（liàng）程，以較大者為準
最大壓差
20,000 和 50,000 sccm 孔口為（wéi） 30
psi 50 至 10,000 sccm 孔口為 150 psi
（與傳感器超壓限製一致）
控製方式
下遊標準；上遊可選
壓（yā）力測量精度
讀數的 ±0.5%（包括線性度、遲滯和可（kě）重複性）
零溫度係數
零位：滿刻度（dù）的 ±0.02%/°C
跨度溫度係數
跨度：讀數的 ±0.04%/°C
控製範圍
>2 到 100% 的滿量程
典型響應時間
<1.0 秒（不（bú）包括係統（tǒng）時間常數）
工作溫度
0 - 50°C（32° 至 122°F）
儲存溫（wēn）度
-20 至 80°C（-4° 至 176°F）
外部泄漏完（wán）整性
<10 -9 scc/秒 He
通過關閉的閥門泄漏完整性
彈性體閥：<10 -4 sccc He
金屬閥：<1% 滿量程 (N2 @ 1 atm. ΔP)
Kel-F 閥：<0.5% 滿量程 (N2 @ 1 atm. ΔP)
（通過關閉（bì）閥門）*
接液材料（liào）
標準：316L SS、316L/VAR SS、鉻鎳鐵合金、鎳
可選：Viton、Kalrez、Kel-F
所需電源
±15 VDC ±5%，最大 200 mA
連接器接口
15 針（zhēn）公頭“D”型
儀表響（xiǎng）應時（shí）間
<100 毫秒
射頻幹擾靈（líng）敏度
SAMA 33.1，1-abc：<滿量（liàng）程的（de） 0.2%
輸入輸出信號
0-5 VDC 標準；0-10 VDC 可選
電纜長度
最大 100 英尺 (30 m)
重（chóng）量
2.54 磅。（1.15 公斤）
方（fāng）麵
1.5 英寸（38.1 毫米）x 4.88 英寸（124 毫米）（4 VCR）x 5.50 英寸（140 毫米）最大
遵守
CE認證（zhèng）