美國（guó） Entegris 英特格 WG3NS6RR2 直通式氣體過濾器Micro XL

為超純氣體係統過濾提供卓（zhuó）越的顆粒過濾。

全金屬結（jié）構提供最清潔、最高效的全金屬（shǔ）過濾器
獲（huò）得（dé）專利的鎳過濾膜具有卓越的耐腐蝕性和優異的化學兼容性
創新的外殼設計（jì）有助（zhù）於（yú）消除排氣並縮（suō）短幹燥時間
高溫和（hé）動態壓力應用的理想選擇
通常用於流量高達 30 slpm

材料    過濾膜（mó）    獲得（dé）專利的燒結鎳
住房（fáng）    電解拋光 F20 不鏽（xiù）鋼
下遊清潔度    粒子*    <0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/ft 3 ) >0.01 µm
揮發物（wù）**    H 2 O、O 2和 THC 的揮發性脫氣低於可檢測限值（在室溫下通過 RGA 和 FID）
去除等級    ≥0.0015微米    
內部表麵處理    ≤5μin Ra    
氦氣泄漏率（lǜ）    合格的（de）    2x10 -10  atm cc/秒
已測試    1x10 -9  atm cc/秒
最大操作條（tiáo）件    最大入口壓力：    70 巴 (1000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正（zhèng）向/反向壓差：    10 巴（150 磅/平方英寸）
最高工作溫度    惰性氣體    35 巴 (500 psi) 時為 400°C (752°F)
腐蝕（shí）性和（hé）反應性氣體    70 巴 (1000 psi) 時為 50°C (122°F)
保修單    5年    
顆粒保留    在 30 slpm 下（xià），所（suǒ）有顆粒去（qù）除率（lǜ）超過 99.9999999% (9 LRV)
在 75 slpm 下，所有（yǒu）顆粒去除率超過（guò） 99.9999%（以最具穿透力（lì）的（de）顆粒尺寸為準）
流量    參見流量曲線