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電子特氣係統在（zài）半導體製（zhì）程擴散工藝中的應用--MIDAS氣體檢（jiǎn）測器

電子特氣係統在半導體製程擴散工藝（yì）中的應用（yòng）

▮在半導體製造中，擴散工藝是一種常（cháng）用的生產工藝，是一種摻雜技術，而電子特氣係統是能（néng）將擴散工藝所需的元素氣體原材料，在保護氣體純（chún）度的同時，安全穩定的供應到使用設備。

▮什麽是擴散工藝？

擴散工藝是一（yī）種摻（chān）雜技術（shù），在高溫條件下，利用熱（rè）擴散原理將（jiāng）雜質元素按工藝要求對半導體晶圓進行（háng）摻雜，即將元素磷、硼擴散入（rù）矽襯底中，從而改變和控製半導體內（nèi）雜質的類型、濃度和分布，改變矽材料的電學特性，以便建立起不同的電特性區域。

擴散工藝在半導體製造中應用主要體現在對關鍵結構PN結形成的作用上。因為單獨的擴散（sàn）工藝還有一些（xiē）缺（quē）陷：如高溫擴散時間長、生產周期長、所需溫度高等，這些缺陷會對半導體的產量、質量和成品率等都（dōu）會造（zào）成影響，所（suǒ）以，在PN結的製造中，擴散工藝常搭配離子注入技術一起使用。

 ▮特氣係統的應用：

在半導體製造中，特氣係（xì）統將含元素離子氣體（tǐ）作為摻雜氣體注入到晶圓表麵，通（tōng）過擴散原理改變矽材料（liào）的電學特性，形成半導體PN結。

半（bàn）導體行業（yè）對所用的氣體，不管是純度還是氣（qì）體性質都有著使用要求，被稱為（wéi）電子特氣，大多（duō）數是易（yì）燃易爆（bào）、劇（jù）毒、腐蝕性（xìng）的特殊氣體，具有很大的危險性。超高純電子特氣係統，就是在保護電子（zǐ）特氣純度（dù）、避免外界雜質汙（wū）染的同時，保證氣體的使用安全、壓力穩定和使用設備（bèi）的精準（zhǔn）供氣。

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