英（yīng）特格Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現貨
英特格Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器（qì）WG2FT1RR2現貨
英特格Wafergard® II F 微型在線（xiàn）氣體過濾器WG2FT1RR2現貨
這（zhè）些（xiē）氣體（tǐ）過濾器推薦用於（yú）惰性氣體和反應（yīng）性氣（qì）體，與所有類（lèi）別的半導體工藝氣體具有出色的（de）兼容性，並且易於安裝在狹窄的氣體麵板（bǎn）和機櫃中。
PTFE 膜提供高效（xiào）過濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的（de）風險
與所有類（lèi）別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
用於惰性和反應性氣體，包括臭（chòu）氧
應用
Wafergard
II F 微型在（zài）線氣體過濾器應用
生命科學（xué）應用
臭氧應用（氣體）
氣櫃和麵板
超純氣體係統（tǒng）
內部流程工具
產品規格
材料
濾芯
由（yóu）模壓 PFA 結構支撐的疏水（shuǐ） PTFE 膜（mó）
住（zhù）房 電拋光（guāng） VAR 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 小於 0.03 個顆（kē）粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 µm
揮發物 <10 ppb 水分
移除等級（jí） ≥0.0015 µm
表麵處理內（nèi）部 ≤7 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10毫升（shēng）/秒
經過測試 1 × 10 -9毫升/秒
運行條件 最大入口壓力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高（gāo）工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
大於 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去（qù）除所有顆粒（參考最具穿（chuān）透性的顆粒尺寸）
流量等級 參（cān）考性能數據
零件號（hào）
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度 應用
WG2FT1BW2 1/4" 對焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半導體（tǐ）
WG2FT1RF2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 88.9 毫米（3.50 英寸（cùn）） 半導體
WG2FT1RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半導體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭（tóu）兼容）外螺紋（wén）入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科學
WG2FT1SS2 1/4" 壓（yā）縮密封（fēng）（與（yǔ）世偉洛克（kè）接頭（tóu）兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半導體
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
美國Entegris英特（tè）格,過濾器（qì），濾芯，WGPMOGGT4，現貨
美國Entegris英特格,過（guò）濾器，濾芯，WGPMOGGT4，現貨
美國Entegris英特格,過濾器，濾芯，WGPMOGGT4，現貨
Gasketgard® 在線墊片過（guò）濾器，WGPM0GGT4，WGPMOGGT4現貨特價
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾器是一種緊湊型全金（jīn）屬過濾器，可替代標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊片。
保持器便於對齊
專為輕鬆插入標準氣體管線而設計
高（gāo）壓和高溫應用的理想選擇
保護關鍵部件免（miǎn）受顆粒損壞
在世界一流的 ISO 認證設（shè）施中製（zhì）造
應用
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器（qì）應用
適用於高達 400°C (752°F) 的應用
用於保護（hù）敏感（gǎn）氣體成分
適用於高壓和高溫（wēn）應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的（de）燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽（xiù）鋼
顆粒保留： 大於 0.3 µm 直（zhí）徑的所有（yǒu）顆粒（lì）去除率超過 95%
運行條件： 最大壓差 1⁄4” P1：5.1 MPa（51 bar，740 psid）
1⁄4” P2：10.4 MPa（104 bar，1508 psid）
1⁄2” P1：1.7 MPa（17 bar，247 psid）
1⁄2” P2 ：2.9 兆帕（29 巴，421 磅（páng）/平（píng）方（fāng）英寸）
最高工作（zuò）溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）部件號（hào）
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫（háo）米（0.98"）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶固定器 25.25 毫（háo）米（0.99"）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶固定器 29.50 毫米（1.16"）
