美國Entegris 應（yīng）特格 WG2FT1RR2 過濾器現貨

美國Entegris 應特格 WG2FT1RR2 過濾器現貨

這些氣體過濾器推薦用於惰性和反（fǎn）應性氣體（tǐ），與所有類別的半導體工藝氣體具有出色（sè）的兼容性（xìng），並且易於（yú）安裝在狹窄的氣體麵板和櫃中。 

PTFE 膜提供高效過（guò）濾
低壓降降低了較低蒸氣壓氣體的冷凝風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性（xìng）
適用於惰性氣體和反應性氣體，包括臭氧（yǎng）

應用領域
Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器應用（yòng）
生命科學應用
臭氧應用（氣體）
煤氣櫃和麵板
超純氣體係統
內部處理工具

材（cái）料
     濾芯
     由模製 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜（mó）
住房    電解拋（pāo）光（guāng） VAR 316L 不鏽鋼
下遊清潔度     小於 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3）大於 0.01 µm 
揮發物（wù）    <10 ppb 水分
去除等級    ≥0.0015微米    
內部表麵處理    ≤7 µin Ra    
氦氣泄漏（lòu）等（děng）級    合格的（de）    2×10 -10立方厘米/秒
已測試    1×10 -9立方厘米/秒
運行條件    最大入口（kǒu）壓力    207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大前向（xiàng）壓差    4 巴（bā） (60 psid) @ 23°C (73°F)
 
最大反向壓差    0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
 
最（zuì）高工作溫（wēn）度    120°C (248°F)
顆粒保留
     在 30 slpm 下去除所有顆粒的率大於 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒尺寸為準）
流量等級    參考性能數據

美國Entegris 應特格 WG2FT1RR2 過濾器現貨

美國Entegris 應特格 WG2FT1RR2 過濾器現貨

美國Entegris 應特格 WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器現貨

美國Entegris 應特（tè）格 WG2FT1RR2 過濾器現貨