美國ENTEGRIS應特格，WG2FT1RR2. 1/4"VCR過濾器，現貨
美國ENTEGRIS應特格，WG2FT1RR2. 1/4"VCR過濾器，現貨
美國ENTEGRIS應特格，WG2FT1RR2. 1/4"VCR過濾器，現貨
英特格Wafergard® II F 微（wēi）型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現貨
英特格Wafergard® II F 微型在（zài）線氣體過濾器（qì）WG2FT1RR2現貨
英特格Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現貨
這些氣體過濾器推薦（jiàn）用於惰性氣體和反應性氣體，與所有類別的半導體工藝（yì）氣體具有出色的兼（jiān）容性，並且易於安裝在狹窄的氣體麵（miàn）板和機櫃中。
PTFE 膜提供高效（xiào）過濾
低壓降降低了在較低蒸（zhēng）氣壓氣（qì）體（tǐ）中冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性（xìng）
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
應用
Wafergard
II F 微型在線氣體過濾器應用
生命科學應用
臭氧應用（氣體）
氣（qì）櫃和麵板（bǎn）
超純（chún）氣（qì）體係統
內部流程工具
產品規格
材料
濾（lǜ）芯
由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住（zhù）房 電拋光 VAR 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於（yú） 0.01 µm
揮發物<10 ppb 水分（fèn）
移（yí）除（chú）等級 ≥0.0015 µm
表麵處理內部 ≤7 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10毫（háo）升/秒
經過測（cè）試（shì） 1 × 10 -9毫升/秒
運行條件 最大入口（kǒu）壓（yā）力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向壓（yā）差（chà） 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
大於 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下（xià）去除所有顆（kē）粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能（néng）數據
零件號
Wafergard II F 微型在線（xiàn）氣體過濾器部（bù）件號（hào）
零件號 接頭（tóu）尺寸和類型 長（zhǎng）度 應用
WG2FT1BW2 1/4" 對焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半導體
WG2FT1RF2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口（kǒu）/母出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半導體
WG2FT1RR2 1/4" 墊片密（mì）封（與 VCR 接頭兼（jiān）容（róng））外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸（cùn）） 半導體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊片密封（fēng）（與 VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋（wén）入口/出口 84.1 毫米（3.31 英（yīng）寸） 生命科學
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克（kè）接頭兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半導體
英特格Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現貨
英特格Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器（qì）WG2FT1RR2現貨
英特格（gé）Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現貨
這些氣體過濾器推薦用於惰性氣體和反應性氣體（tǐ），與所有（yǒu）類別的半導體工藝氣體具有（yǒu）出色的兼容性，並（bìng）且易於安裝在狹窄的氣體麵板和機櫃中。
PTFE 膜提供高效（xiào）過濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的風險
與（yǔ）所有（yǒu）類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
應用
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器應用
生命科學應用
臭（chòu）氧（yǎng）應用（氣體）
氣櫃和麵板
超純氣體係統
內部流程工具
產品規格
材料（liào）
濾芯
由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜（mó）
住房 電拋光 VAR 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 µm
揮發（fā）物<10 ppb 水分
移除（chú）等級 ≥0.0015 µm
表麵處理內部 ≤7 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10毫升（shēng）/秒
經過測試 1 × 10 -9毫升/秒
運行條件 最大入（rù）口（kǒu）壓力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向壓（yā）差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
大於 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去（qù）除所（suǒ）有顆（kē）粒（lì）（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數據
零件號
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器（qì）部件（jiàn）號（hào）
零件號 接頭尺寸和類型（xíng） 長度 應用
WG2FT1BW2 1/4" 對焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半導體
WG2FT1RF2 1/4" 墊（diàn）圈密（mì）封（與 VCR 接頭兼容）公（gōng）入口/母出口 88.9 毫米（3.50 英（yīng）寸（cùn）） 半導體
WG2FT1RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭（tóu）兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫（háo）米（3.31 英寸） 半導體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊片密（mì）封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入（rù）口/出口（kǒu） 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科學
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接（jiē）頭兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半導體
