Wafergard
MAX 在線 PTFE 氣（qì）體過（guò）濾器
這些在線 PTFE 氣體（tǐ）過濾器與高純度氣體兼容，並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒（lì）過濾（lǜ）。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色
專為高流量和低增量（liàng）壓力應用而設計
用於惰性和反（fǎn）應性氣（qì）體，包括臭氧
為快速啟動而預先調節（僅限銀色）
應用（yòng）
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的（de）半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用（yòng）兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒（lì）/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮（huī）發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和（hé） 1⁄2" VCR 兼（jiān）容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅（tóng） 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼（jiān）容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流（liú）量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒（lì）保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所（suǒ）有（yǒu）顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過（guò）濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型（xíng） 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口（kǒu），1/4" 母（mǔ） VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英（yīng）寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世（shì）偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛（luò）克118.7 毫米（mǐ）（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉（wěi）洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
美國（guó）ENTEGRIS英（yīng）特（tè）格過濾器（qì），WGPMOGGT2現貨，可當天發貨
美國ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現貨，可當天發貨
美國ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現貨，可（kě）當天發貨
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器是一種緊（jǐn）湊型全金（jīn）屬過濾器，可代替（tì）標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於（yú）對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體（tǐ）管（guǎn）線
非常適合高壓和高溫應（yīng）用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製（zhì）造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保（bǎo）護敏感氣體成分
適用於高壓和高（gāo）溫應（yīng）用
產品規格
材料： 焊接（jiē）到 316L 不鏽鋼墊片（piàn）上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質（zhì）
保持器 316 不鏽鋼
顆（kē）粒保留： 去除所有大於 0.3 µm 直徑的顆粒超（chāo）過 95%
運行條件： 最大壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕（pà） (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰（duò）性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾（lǜ）器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（mǐ）（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保（bǎo）持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN氣體過濾器（qì）
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
EntegrisWGFG02PR1過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWGPM0GGT4過濾器
EntegrisWG2SS8RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3閥
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過（guò）濾器
ENTEGRISWGGB01KAN過（guò）濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3偵測器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISYY260103N過濾器
EntegrisCR4-2C-6F-3氣動閥
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFG01DS0（一包十個）濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW濾芯
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331氣動閥
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
EntegrisCWFV0S1S3濾芯
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過（guò）濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISCN2501E6濾芯（xīn）
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
EntegrisWGPM0GGG2過濾器
entegrisWGFGMBRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWG2SS8RR2過濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
EntegrisSVTH01TQ1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISCN2501E06濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFG50PR1過濾器
ENTEGRISWGFG01DSH過濾器
ENTEGRISPLMV-K12閥
ENTEGRISPLMV-K04閥（fá）
ENTEGRISPLMV-K16閥
ENTEGRISPLPV-K04閥
ENTEGRISPLPV-K08閥
ENTEGRISPLPV-K12閥（fá）
ENTEGRISPLPV-K16閥
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3氣動（dòng）閥
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
EntegrisYY5032PS1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
entegrisWGFGT1PR1過濾器
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFG01DS0過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGFG21KP0
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
