Wafergard
MAX 在線 PTFE 氣體過（guò）濾器
這（zhè）些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣（qì）體兼（jiān）容，並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超（chāo）純應用中表現出色
專（zhuān）為高流量和低增量壓力應用而設（shè）計
用於惰（duò）性和反應性氣體，包括臭氧（yǎng）
為快速啟動而預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應（yīng）用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼（jiān）容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電（diàn）拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大（dà）於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和（hé） O 2。低於 LDL THC（檢（jiǎn）測下限（xiàn）為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青（qīng）銅（tóng）加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經（jīng）過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼（jiān）容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接（jiē）頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接頭（tóu）：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大（dà）正向（xiàng）壓差 7 巴 (102 psid)
最大（dà）反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有（yǒu）顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在（zài）線（xiàn） PTFE 氣體（tǐ）過濾器部件號
零件號 接頭尺（chǐ）寸和類型（xíng） 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMBSS2 1/4" 世偉（wěi）洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克（kè）117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫（háo）米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世（shì）偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸（cùn））
WGMXMPSS3 3/8" 世（shì）偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英（yīng）寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對（duì）焊管 133.4 毫（háo）米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
美國ENTEGRIS英特格過（guò）濾器，WGPMOGGT2現貨，可當天發貨
美國ENTEGRIS英特格過濾器（qì），WGPMOGGT2現貨，可當天發貨
美國ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現貨，可當天發貨
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件（jiàn）免受（shòu）顆粒物損壞
在（zài）世（shì）界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）應用（yòng）
用於最高 400°C (752°F) 的（de）應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓（yā）和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不（bú）鏽鋼過濾介質
保持（chí）器（qì） 316 不鏽鋼（gāng）
顆粒保留： 去除所有（yǒu）大於 0.3 µm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕（pà） (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保（bǎo）持器（qì） 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫（háo）米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器（qì）
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN氣體過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器（qì）
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯（xīn）
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
EntegrisWGFG02PR1過（guò）濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWGPM0GGT4過濾器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器（qì）
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3閥
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3偵測器
EntegrisWG2SS8RR2過濾（lǜ）器（qì）
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISYY260103N過濾器
EntegrisCR4-2C-6F-3氣（qì）動閥
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGFG01DS0（一包十（shí）個）濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW濾芯
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331氣動閥
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
EntegrisCWFV0S1S3濾（lǜ）芯
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
ENTEGRISWGMXMSRR4過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISCN2501E6濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGPM0GGG2過濾器
entegrisWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWG2SS8RR2過（guò）濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
EntegrisSVTH01TQ1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISCN2501E06濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFG50PR1過濾器
ENTEGRISWGFG01DSH過濾器
ENTEGRISPLMV-K12閥
ENTEGRISPLMV-K04閥
ENTEGRISPLMV-K16閥
ENTEGRISPLPV-K04閥
ENTEGRISPLPV-K08閥
ENTEGRISPLPV-K12閥
ENTEGRISPLPV-K16閥
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3氣動閥
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
EntegrisYY5032PS1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
entegrisWGFGT1PR1過濾器（qì）
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFG01DS0過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGFG21KP0
EntegrisWG2SS8RR2過（guò）濾器
