美國ENTEGRIS英特格（gé）過濾器CBUG0S0S1現貨10個

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美（měi）國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾器,CBUG0S0S1

 專為使用點 (PoU) 光刻工藝中的（de）去離（lí）子水應用而設計的液體光化學過濾器。小膠囊形狀係數和幹淨的膜（mó）/支撐/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提供高純度汙染物去除性能。
應用
Optimizer DI 過濾器應用
行業：半導體（光刻）
化學：光化學、溶劑
安裝點：工具點
產品規格
材料 膜： UPE*
  支撐、核心、套筒： 高密度聚乙烯
  住房： 聚丙烯
膜麵積 DI 1800 平方厘米（1.94 平方英尺）
  DI-L 3600 平方厘米（mǐ）（3.88 平方英尺）
  DI-L (20 納米) 2100 平方厘米（2.26 平方英尺）
保留評級 DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微米（mǐ）、20 納米（mǐ）
配件 提供範圍廣泛（fàn）的接頭，包括 Super Type Pillar 接頭、壓縮（suō）密封件（與 Swagelok 兼容的接頭（tóu））和 Flaretek 接頭。
運行條件 最大入口壓力 0.345 兆帕（pà）（3.45 巴，50 磅（páng）/平方英寸，3.52 千克/平方（fāng）厘米）@ 25°C (77°F)
  最大正向/反向壓差 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方英寸，3.52 千克/平方厘米）@ 25°C (77°F)
    0.28 MPa（2.8 bar，40 psi，2.8 kg/cm²）@ 25°C（77°F）
  工作溫度 60°C (140°F)
*表（biǎo）麵改性UPE
Entegris 建議客戶至少每年更換一（yī）次過濾器以確保最佳過濾性（xìng）能。例行（háng）的年度更換（huàn）也將（jiāng）減少因過度使用（yòng）而導致化學品泄漏的可能性。

我們的標準保修期為 1 年（自 Entegris 發貨之日（rì）起）。

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