美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾（lǜ）器WG2F02RR4，現貨
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過（guò）濾器
在氣（qì）體麵板、氣體櫃和晶圓加工需要超純氣體的（de）任何地（dì）方進行卓越的顆粒過濾。
緊湊的裝置減（jiǎn）少了氣箱的整（zhěng）體（tǐ）占地麵積，節省了寶貴（guì）的設備空間
PTFE 膜（mó）提供（gòng）高效（xiào）過濾，提高產品產量
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風險
與所（suǒ）有類別的半導（dǎo）體工藝氣（qì）體具有出色（sè）的兼容性
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
應用
Wafergard II F Mini XL 在線氣（qì）體過濾器應用
臭氧應（yīng）用（氣體）
煤氣櫃
超純氣（qì）體係統
閥組箱
氣體麵板
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆（kē）粒/升（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水分
移除等級 0.0015 微米
表麵處理內部 ≤10 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015 ppm
運行條件 最大入口壓力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有顆粒（參考最具（jù）穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能（néng）數據（jù）
零（líng）件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器（qì）部件號
零件（jiàn）號（hào） 接頭尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4" 對焊（hàn）管（guǎn） 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出口 115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出（chū）口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接（jiē）頭（tóu）兼容）外螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
