美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS英（yīng）特格在線氣體過濾器WG2F02RR4，現貨
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器
在氣體（tǐ）麵板、氣體櫃和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進行卓越的顆粒過濾。
緊湊的（de）裝置減（jiǎn）少了（le）氣箱的整體占地麵積，節省了寶貴的設備空（kōng）間
PTFE 膜提供高效過濾，提高產品產量（liàng）
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝（níng）的風險
與所有類別的半導體工（gōng）藝氣體具有出色的兼（jiān）容（róng）性
用於惰性和反應性氣體，包括（kuò）臭（chòu）氧
應用
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器應用（yòng）
臭（chòu）氧應用（氣體）
煤氣（qì）櫃
超純（chún）氣體係統
閥組箱
氣體麵板
產品規格
材料 濾（lǜ）芯（xīn） 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住（zhù）房 電拋光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（shēng）（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發（fā）物 <10 ppb 水（shuǐ）分
移除等（děng）級 0.0015 微米
表麵處理內部 ≤10 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃（nóng）度分（fèn）辨率 ±0.015 ppm
運行（háng）條件 最大入口（kǒu）壓力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒（lì）保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有顆粒（lì）（參考最具穿（chuān）透性的顆粒（lì）尺寸）
流量等級 參考性能數據
零件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管（guǎn） 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮（suō）密（mì）封（與世（shì）偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（fēng）（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋入口/出口 127.0 毫（háo）米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外（wài）螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮（suō）密（mì）封（與世（shì）偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出（chū）口 119.3 毫米（mǐ）（4.70 英寸（cùn））
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
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ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
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Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
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ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
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Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
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Entegris WG2FT1SS2 過濾器
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ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
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