美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器（qì），WG2F02RR4，現貨

美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨

美國ENTEGRIS英特格（gé）在線氣體過濾器WG2F02RR4，現貨 

 Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器

在氣體麵板、氣體櫃和晶圓（yuán）加工需要超純氣體的任何地方進行卓越的顆粒過濾。

緊湊（còu）的裝置減少了氣（qì）箱的整體占地麵積，節省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提供高效過濾，提高產品產量
低壓降（jiàng）降低（dī）了低（dī）蒸氣壓氣（qì）體冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有（yǒu）出色的兼容性
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
 應用
Wafergard II F Mini XL 在線（xiàn）氣（qì）體過濾器應用
臭氧應用（氣體）
煤氣櫃
超純氣體係統
閥組箱
氣體麵板
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆（kē）粒/升（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水分
移除等級（jí） 0.0015 微米  
表麵處（chù）理內部 ≤10 µin Ra  
氦泄漏等級 合格（gé）的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015 ppm
運行條件 最（zuì）大入口壓力： 20.7 兆帕（pà）（207 巴；3000 磅/平方（fāng）英寸）@ 23°C (73°F)
最（zuì）大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作（zuò）溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除（chú）所有顆粒（參考最具穿透性（xìng）的（de）顆（kē）粒尺寸）
流量等級 參考（kǎo）性能數據  
 零件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器部件號
零（líng）件號 接（jiē）頭尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4" 對（duì）焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管（guǎn） 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密（mì）封（與（yǔ）世偉（wěi）洛克接頭兼（jiān）容（róng））外螺紋入口/出（chū）口（kǒu） 115.5 毫米（4.55 英（yīng）寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓（yā）縮密封（與世（shì）偉洛克接（jiē）頭兼容）外螺（luó）紋入口/出口 119.3 毫（háo）米（4.70 英寸）
  

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器

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ENTEGRIS WG3NSMSL2

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

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Entegris WG2FT1SS2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

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ENTEGRIS WGMXMPRR4

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ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WGMXMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器

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ENTEGRIS WG3NSMSL2

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

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