美國ENTEGRIS應（yīng）特（tè）格氣體過濾器（qì），WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS英特格在線氣（qì）體過濾器WG2F02RR4，現貨
Wafergard
II F Mini XL 在線氣（qì）體（tǐ）過濾（lǜ）器
在氣（qì）體麵板、氣體櫃和晶圓加（jiā）工需要超純氣（qì）體的任何地方進行（háng）卓越的顆粒過濾。
緊湊的裝置減少了氣箱的整體占（zhàn）地麵積，節省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提供高效過濾，提高產（chǎn）品產量
低壓降降低（dī）了低蒸氣壓氣體冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
用於惰性和反應（yīng）性氣體，包（bāo）括臭氧
應用
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器應用
臭氧（yǎng）應用（氣體）
煤氣櫃（guì）
超純氣體係統
閥組箱（xiāng）
氣體麵板（bǎn）
產（chǎn）品規（guī）格（gé）
材料（liào） 濾（lǜ）芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 316L 不鏽（xiù）鋼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒（lì）/升（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水分
移（yí）除等級 0.0015 微（wēi）米
表（biǎo）麵處理內部 ≤10 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015 ppm
運行（háng）條件 最大入（rù）口壓力： 20.7 兆帕（207 巴（bā）；3000 磅/平方英寸（cùn））@ 23°C (73°F)
最大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最（zuì）大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最（zuì）高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流（liú）量等級 參考性能數據
零件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（與世偉（wěi）洛（luò）克接頭兼容）外螺紋入口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭（tóu）兼（jiān）容）外螺紋入（rù）口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋入口/出口（kǒu） 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（fēng）（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出（chū）口 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
