美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS英特格在線氣體（tǐ）過濾器（qì）WG2F02RR4，現貨
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器
在氣（qì）體（tǐ）麵板、氣體（tǐ）櫃和（hé）晶圓加工需要（yào）超純氣體的任何地方進行卓越的（de）顆粒過濾。
緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地麵積，節省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提供（gòng）高效過濾，提高產品產（chǎn）量
低壓降降低了低（dī）蒸氣壓氣體冷凝的（de）風險
與（yǔ）所有類別的（de）半導體工藝氣體具有出色的兼容性
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
應用
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器應用
臭氧應用（氣體）
煤氣櫃
超純氣體係統
閥組箱
氣體麵（miàn）板
產品規格
材料 濾芯（xīn） 由（yóu）模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住（zhù）房 電（diàn）拋光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度（dù） 粒子（zǐ） <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水分
移除等級 0.0015 微米
表麵處理內部 ≤10 µin Ra
氦泄（xiè）漏等級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過測試（shì） 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015 ppm
運行條件 最大入口（kǒu）壓力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平（píng）方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有顆粒（參考最具穿（chuān）透性的（de）顆粒尺寸）
流（liú）量等級 參考性能數據
零件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器部（bù）件（jiàn）號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸（cùn））
WG2F02RR2 1/4" 墊（diàn）片密封（與 VCR 接頭兼（jiān）容）外螺紋入口/出口 127.0 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（fēng）（與 VCR 接頭兼容）外（wài）螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
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