Wafergard
III NF 微型在（zài）線（xiàn）氣體過濾器
為超純氣體係（xì）統提供卓越的惰性和反應性氣體顆粒過濾。
可用的最清潔、最高效（xiào）的全金屬過濾器
獲得專利的鎳過濾膜具有卓越的耐腐蝕性和與惰性氣體和反應性氣體的出色兼（jiān）容性*
最（zuì）先進的外殼組件通過最小化焊接麵積來消（xiāo）除除氣
全金（jīn）屬（shǔ）結構是高溫和動態壓力應用的理（lǐ）想選（xuǎn）擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提高設計（jì）效（xiào）率並最大限度地降低工程成本（běn）
*不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
應用
Wafergard
III NF 微型在線氣體過濾器應用
超純氣體（tǐ）管線
高溫應用
新（xīn）工廠建設
動（dòng）壓應用
惰性和反應性氣（qì）體（tǐ）
產品規格
材料 濾芯 獲得專（zhuān）利的燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR 316L 不鏽鋼外殼
下遊清（qīng）潔（jié）度 粒（lì）子* 小於 0.03 個顆粒/升（shēng） (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
易揮發的** H 2 O、O 2和 THC 的（de）揮發性釋氣低於可檢測限（在室溫下通過 RGA 和 FID）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 ≤5 μin Ra
氦（hài）泄漏等級 合格的 2x10 -10 atm cc/秒。
經過測（cè）試 1x10 -9 atm cc/秒（miǎo）。
運（yùn）行條件 最大允許工作壓（yā）力（設計（jì）壓力（lì））：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向（xiàng）/反向壓差：35 bar (500 psid)
最高工作溫度：惰性氣體 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蝕性和（hé）反應性氣（qì）體：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修單（dān） 5年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具（jù）穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數據（jù）
*顆粒清潔（jié）度（dù）符合（hé） SEMASPEC 顆粒粉碎測試方法 (#93021511A-STD)
**揮（huī）發性清潔度符合 SEMASPEC THC 貢獻測試方法 (#90120396B-STD)、水分（fèn）貢獻 (#90120397B-STD) 和氧氣貢獻 (# 90120398B-STD）。
零件號
Wafergard
III NF 微型在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3L005NS2S1 1/8" Swagelok
壓縮接（jiē）頭 50.8 毫米（mǐ）（2.00 英寸）
WG3NS5RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
WG3NSMFF2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）內螺紋入口/出口 58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NSMFR2 1/4" 極化墊圈密封（與 VCR 接頭（tóu）兼容）內螺紋入口（kǒu）/外（wài）螺紋（wén）出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMJJ2 1/4" 對（duì）接焊入口/出口 28.4 毫米（1.12 英寸）
WG3NSMRF2 1/4" 極化（huà）墊片密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMSL2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭（tóu）兼容）外螺紋入口/出口 50.8 毫米（mǐ）（2.00 英寸）