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最先進的(de)外殼組件(jiàn)通過最小化焊(hàn)接麵積來消除除氣
全金屬結構非常適合高溫和動態壓力應用
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了極高的設計效率並最大限度地降(jiàng)低了工程成(chéng)本
應用
Wafergard
III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫和動壓應用
惰性和反應性氣體(tǐ)
氣櫃(guì)和麵(miàn)板
閥組箱
掛鉤
注意:不建議與 CO、O 3和(hé)低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用
產品規(guī)格
材料 濾(lǜ)膜 鎳
外殼,端蓋 低硫316L不鏽鋼
初始下遊清潔度 ≤0.03 個顆粒/升(≤1 個顆粒/ft 3) ≥0.01 μm
移除等級 ≥0.0015 微米
顆粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm (Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3
c (9 × 10-9 atm cc
c)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346 psid) at 20°C (68°F)
Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid) @RT
Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
零(líng)件號(hào)
Wafergard
III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器部(bù)件號(hào)
零件號 接頭(tóu)尺寸和類(lèi)型(xíng) 長度
WG3NS1RR2 1/4" 墊片密封(與 VCR 接頭兼容)外螺紋入口/出口 84.1 毫米(3.31 英寸)
WG3NS2RR2 1/4" 墊片密封(與 VCR 接(jiē)頭兼容)外螺紋入口/出口 127.0 毫米(5.00 英(yīng)寸)
WG3NS2RR4 1/2" 墊片密封(與 VCR 接(jiē)頭兼容)外螺紋入口/出口 133.3 毫米(mǐ)(5.25 英寸)
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器(qì)
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯(xīn)
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器(qì)
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器(qì)
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥
Entegris WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體(tǐ)過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過(guò)濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS YY260103N 17526 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動閥(fá)
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾(lǜ)器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾(lǜ)器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器(qì)
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器(qì)
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0(一包十個) 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1