Wafergard
SG YY 係（xì）列氣體過濾器提供卓（zhuó）越的微粒過濾功能，可最大限（xiàn）度地提高光伏電池和顯示器製造的產量。
與高純度氣（qì）體、惰（duò）性氣體和 CDA 應用具有出色的相容性
卓越的下遊清潔度
應（yīng）用
Wafergard
SG 氣體過濾器應用
光伏工藝氣體
顯示製造工藝氣（qì）體
煤氣櫃
閥組箱
煤氣板（bǎn）
零（líng）件號
Wafergard
SG 氣體過濾器部件號
零件號 產品類別（bié） 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard
SG F Mini XL 氣（qì）體過濾器 120 升/分（fèn） 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard
SG F Mini XL 氣（qì）體過（guò）濾器 120 升/分 1/4" 壓（yā）縮密封（與 Swagelok
兼容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard
SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR
） 133.5 毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard
SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密（mì）封（與（yǔ） Swagelok
兼容） 119.3 毫米（mǐ）（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard
SG F Mini XL 氣體過（guò）濾器（qì） 120 升/分 1/2" 墊圈密封（fēng）（兼（jiān）容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard
SG Max 氣體過濾器 500 升/分（fèn） 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋（wén）入口/內螺紋出口 141.2 毫米（mǐ）（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard
SG Max 氣體（tǐ）過濾器 500 升/分 1/4" 墊（diàn）圈密封（兼容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard
SG Max 氣體（tǐ）過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR
） 127 毫（háo）米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard
SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok
兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard
SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok
兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard
SG Max 氣體（tǐ）過濾器 1000 升/分 1/2" 壓縮密封（fēng）（與 Swagelok
兼容） 118.7 毫米（mǐ）（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard
SG F 微型氣體過濾器 60 升（shēng）/分 1/4" 墊圈（quān）密封（兼（jiān）容 VCR
） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard
SG F 微型氣體（tǐ）過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok
兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard
SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR
） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard
SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok
兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard
SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR
compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard
SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok
compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard
SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR
compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard
SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok
compatible) 119.3 mm (4.70")