Wafergard
SG YY 係列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾功能，可最大（dà）限度地提高光伏電池和顯示器製造的產量。
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應（yīng）用具有出色（sè）的（de）相容性
卓越的下遊清潔（jié）度
應用
Wafergard
SG 氣體過濾器應用
光伏工藝氣體
顯示製造工藝氣體（tǐ）
煤氣櫃
閥組箱
煤氣（qì）板
零件（jiàn）號
Wafergard
SG 氣體過濾器部件號
零件號 產品類（lèi）別（bié） 最大流量 接頭尺寸和類型（xíng） 長度
WGFG02PR1 Wafergard
SG F Mini XL 氣體（tǐ）過濾器 120 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard
SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 壓縮密（mì）封（與 Swagelok
兼容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard
SG F Mini XL 氣體（tǐ）過濾（lǜ）器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR
） 133.5 毫（háo）米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard
SG F Mini XL 氣體過（guò）濾器（qì） 120 升/分 3/8" 壓縮（suō）密封（fēng）（與 Swagelok
兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard
SG F Mini XL 氣體過濾（lǜ）器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼（jiān）容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard
SG Max 氣體過濾器 500 升（shēng）/分 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出（chū）口 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard
SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard
SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈（quān）密封（兼容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard
SG Max 氣體過濾器（qì） 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok
兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard
SG Max 氣體過濾器 1000 升（shēng）/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok
兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard
SG Max 氣體過（guò）濾器 1000 升/分 1/2" 壓縮密封（與 Swagelok
兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard
SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR
） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard
SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok
兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard
SG PA 氣體過（guò）濾器 60 升/分 1/4" 墊圈（quān）密封（兼容 VCR
） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard
SG PA 氣體過濾器 60 升（shēng）/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok
兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard
SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR
compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard
SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok
compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard
SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR
compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard
SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok
compatible) 119.3 mm (4.70")
ENTEGRIS 過濾（lǜ）器（qì） WGPMOGGT2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 過濾（lǜ）器（qì） WG3NS2RR4
Entegris 過濾器 WG2FT1SS2
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFG01DS0
ENTEGRIS 過濾（lǜ）器 WGPM0GGG2
ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4
Entegris 過濾器 WG2FT1RR2
ENTEGRIS 過（guò）濾器 WGFGMBRR4
entegris 濾芯 CTFG01TPE
ENTEGRIS 過（guò）濾器 WGPMOGGT4
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGG2
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器 WG3NS8RR2
ENTEGRIS 過濾器 CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 過濾器 WG3NSMSL2
ENTEGRIS 過濾器 WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2
