美國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾器,CBUG0S0S1現貨

美國ENTEGRIS英（yīng）特格Optimizer® DI 過濾器,CBUG0S0S1

 專為使用（yòng）點 (PoU) 光刻工藝中的去離（lí）子水應用而設計的液體（tǐ）光化（huà）學（xué）過濾器。小膠囊形狀係數和幹淨的（de）膜/支撐/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提供高（gāo）純度（dù）汙染（rǎn）物（wù）去除（chú）性能。
應（yīng）用
Optimizer DI 過濾（lǜ）器應用
行業：半導體（tǐ）（光（guāng）刻）
化（huà）學：光化學、溶劑
安裝點：工具點
產品規格
材料 膜： UPE*
  支撐（chēng）、核心、套筒： 高密度聚乙烯
  住房（fáng）： 聚丙烯
膜麵積 DI 1800 平方厘米（1.94 平方英（yīng）尺）
  DI-L 3600 平方厘米（3.88 平方英尺）
  DI-L (20 納（nà）米) 2100 平方厘米（2.26 平方英尺）
保留評級 DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微米、20 納米（mǐ）
配件 提供範圍廣（guǎng）泛（fàn）的接頭，包括 Super Type Pillar 接頭、壓縮密封件（與 Swagelok 兼容的接頭）和 Flaretek 接頭。
運行條件（jiàn） 最大入口壓（yā）力 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方英寸，3.52 千克/平方厘米）@ 25°C (77°F)
  最大正向/反向壓差 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方英寸（cùn），3.52 千克/平（píng）方厘（lí）米）@ 25°C (77°F)
    0.28 MPa（2.8 bar，40 psi，2.8 kg/cm²）@ 25°C（77°F）
  工作溫度 60°C (140°F)
*表麵改性UPE
Entegris 建議客戶至少（shǎo）每年更換一次過濾器以確保最佳過濾性能。例行的年度更換也將（jiāng）減少因過度使（shǐ）用而（ér）導致（zhì）化學品泄（xiè）漏的可能性。
我們的標準保修期為 1 年（自 Entegris 發貨之日起）。