美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美（měi）國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾器WG2F02RR4，現貨
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器
在氣體麵板、氣體櫃和晶圓加工（gōng）需要超純氣體的任何地方進行卓越的顆粒過濾。
緊湊的裝置減少了氣（qì）箱的整體（tǐ）占地麵積，節省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提（tí）供（gòng）高效過濾，提高產品（pǐn）產量
低壓降降低了低蒸氣壓（yā）氣（qì）體（tǐ）冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝（yì）氣（qì）體具有出色的（de）兼容性
用（yòng）於惰性和反應性氣體，包括臭氧
應（yīng）用
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器應用
臭氧應用（氣體（tǐ））
煤氣櫃
超純（chún）氣體係統
閥組箱
氣體麵板
產品規格
材料 濾芯 由（yóu）模壓 PFA 結構支撐的（de）疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水（shuǐ）分
移除等級 0.0015 微（wēi）米
表麵處理內部 ≤10 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015 ppm
運行條件 最大入口壓力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓（yā）差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保（bǎo）留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在（zài） 100 slpm 下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等（děng）級 參考性能數據
零件號
Wafergard II F Mini XL 在（zài）線氣（qì）體過（guò）濾器部件號
零件號 接頭（tóu）尺（chǐ）寸和類型 長度（dù）
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克接頭（tóu）兼容）外螺紋入（rù）口/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
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