美國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾器,CBUG0S0S1
專為使用點 (PoU) 光刻工藝中的去離子水應用而設計的液體光化學過濾器（qì）。小膠（jiāo）囊形（xíng）狀係數和幹淨（jìng）的膜/支撐（chēng）/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提供高純度汙染物去除性能。
應用（yòng）
Optimizer DI 過濾器應用
行業：半（bàn）導體（光刻）
化學：光化學、溶（róng）劑
安裝點：工具點
產品規格
材料 膜（mó）： UPE*
支撐、核心、套筒： 高密度聚乙烯
住房： 聚丙烯
膜（mó）麵積 DI 1800 平方厘（lí）米（1.94 平方英尺）
DI-L 3600 平方厘米（3.88 平方英尺）
DI-L (20 納（nà）米) 2100 平方厘（lí）米（2.26 平方英尺）
保留評級 DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微米、20 納米
配件 提供範圍廣泛的接頭，包括 Super Type Pillar 接頭、壓（yā）縮密封件（與 Swagelok 兼容的接頭）和 Flaretek 接頭。
運行條件 最大入口壓力 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方英寸（cùn），3.52 千克/平方厘米）@ 25°C (77°F)
最大正向/反向壓差 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方英寸，3.52 千克/平方厘米）@ 25°C (77°F)
0.28 MPa（2.8 bar，40 psi，2.8 kg/cm²）@ 25°C（77°F）
工作溫度 60°C (140°F)
*表麵改性UPE
Entegris 建議客戶至少每年更換一次過濾器以確保最佳過濾性（xìng）能。例行的年度更換也將減少因過度使（shǐ）用而導致化學品（pǐn）泄漏的可能性。
我們（men）的標準保修期為 1 年（自 Entegris 發貨之日起）。
美國Entegris英特格,過濾（lǜ）器濾芯，WGPMOGGT4，MRO商城現貨
美國Entegris英特格,過濾器濾芯，WGPMOGGT4，MRO商城現貨（huò）
美國Entegris英（yīng）特格,過濾器濾芯，WGPMOGGT4，MRO商城現貨
Gasketgard® 在線墊片過濾器，WGPM0GGT4，WGPMOGGT4現貨特價
Gasketgard
在線墊（diàn）片過濾器是一種緊（jǐn）湊（còu）型全金（jīn）屬過濾器，可替代標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊片。
保持器便（biàn）於對（duì）齊（qí）
專為輕鬆插入標準氣體管線而設計
高壓和高溫應用的理想選擇
保護關鍵部件免（miǎn）受顆粒損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中（zhōng）製造（zào）
應用
Gasketgard 在線墊片（piàn）過（guò）濾器（qì）應用
適用於高達 400°C (752°F) 的應（yīng）用
用於（yú）保護敏感氣體成分
適用（yòng）於高壓和高溫應（yīng）用
產（chǎn）品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽（xiù）鋼墊片上的燒結 316L 不（bú）鏽鋼過濾介（jiè）質（zhì）
保持器 316 不（bú）鏽（xiù）鋼
顆粒保留： 大於 0.3 µm 直徑的（de）所有顆粒去除率超（chāo）過 95%
運行條件： 最大壓差（chà） 1⁄4” P1：5.1 MPa（51 bar，740 psid）
1⁄4” P2：10.4 MPa（104 bar，1508 psid）
1⁄2” P1：1.7 MPa（17 bar，247 psid）
1⁄2” P2 ：2.9 兆帕（29 巴，421 磅/平方英寸）
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣（qì）體]
零件號
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過（guò）濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（mǐ）（0.98"）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶固定器（qì） 25.25 毫米（0.99"）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶（dài）固定器 29.50 毫米（1.16"）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
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Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
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ENTEGRIS WGMXMPRR4
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ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
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Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
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ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
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ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
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ENTEGRIS WGMXMPRR4
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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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ENTEGRIS LGMXFPRR4
