ENTEGRIS英特格，Chambergard氣體擴（kuò）散器

美（měi）國ENTEGRIS英特格產品和解決方案包括：
淨化氣體、流（liú）體和周圍工廠環境的過濾產品
分配、控製、分析或運輸過程流（liú）體的（de）液體係統和組件
安全儲存和輸送有毒氣體的氣體輸送係統
用於先進節點沉（chén）積和清潔的特殊化學品（pǐn）
 
保護（hù）半導（dǎo）體晶圓免受汙染和破損的（de）晶圓載（zǎi）體和托運人
提（tí）供高純度（dù）表麵以實現耐磨、防腐蝕和光滑的特種（zhǒng）塗層
用於高性（xìng）能應用（yòng）的優質石墨和碳化矽
用於保護和運輸磁盤驅動器組件的托（tuō）運人和（hé）托盤。公司情（qíng）況說明書
致力於通過廣（guǎng）泛的解決方案組合、協作（zuò）和創新的產（chǎn）品開發以及對科學和應用知識的關注來解決（jué）客戶最（zuì）苛刻的工藝挑戰。
Chambergard  氣體擴散器
快速排氣擴散器，不會（huì）在工藝室中引入或幹擾顆粒。
Chambergard  快速排氣擴散器可快速排氣至大氣，而（ér）不會幹擾（rǎo）或向腔室中的晶片添加顆粒，通過最大限度地減（jiǎn）少負載鎖定排氣（qì）循（xún）環時（shí）間來提高係統吞吐量。它們將擴散器的流動特性與高效過濾器相結合，以提高效率（lǜ）和（hé）吞吐量。
 Chambergard  FV50D XL 氣體擴散器
Chambergard FV50 氣體擴散器可快速減少（shǎo）負載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時間，並具有高效且堅固的鎳盤膜。
入口連接
1/4" VCR  兼容公墊圈密封接頭
插座連接
ISO NW50 隔板安（ān）裝與標準 ISO 隔板夾兼容
行業
半導體 平板顯示（shì）器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 沉積 幹蝕刻（kè） 離子注入
Chambergard  快速（sù）排氣（qì）擴散器
Chambergard  快速排氣擴散器（qì）可減少負載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時（shí）間。實現快速排氣（qì），而不會幹擾或向晶片添加顆粒。
行業
半導體 平板顯示器 數據（jù）存儲 引（yǐn）領
過程
散裝氣（qì）體輸送 沉積 幹蝕刻 離子注入
Chambergard  BGN 快速排氣擴散器
Chambergard  BGN 快速排氣擴散（sàn）器可提供高通量和快速排氣到大氣。獲得專利的燒結鎳（niè）濾芯可快速擴（kuò）散進入的氣流。
入（rù）口連接
密封墊（diàn）片 對接焊縫
插座連接
ISO NW 隔板安裝兼容真空法蘭 無（無法蘭）
行業
半導體 平板顯示器（qì） 數（shù）據存儲 引領
過程
散（sàn）裝氣體輸送 沉積 幹蝕刻 離子（zǐ）注入
 

通過減少負載鎖定和傳輸室中的（de）顆粒和排氣時（shí）間來提高效率（lǜ）和吞吐量。

獲得專利的燒（shāo）結鎳技術可在所有應用中提供卓（zhuó）越的性能
設計能夠從進入的氣體中去除大於（yú） 0.0015 µm 的顆粒，從（cóng）而最大限度（dù）地減少晶圓缺陷
提供快速排氣，而不會幹擾或向晶（jīng）圓添加顆粒，減少循環時間，同時提高產量
將擴散器的流動特性（xìng）與高效過濾器相（xiàng）結合（hé），以提高效率和吞（tūn）吐量
易於改裝/安裝到現有（yǒu）工具中（zhōng），最大限度（dù）地減少停機（jī）時間。
WG3D16TR2
WG3D228R2    
WG3D25LR2
WG3D25SR2    
WG3D350R2    
WG3D35BW2
WG3D3LBW2
WG3D401R2
WG3D40DR2    
WG3D40TR2    
WG3D50DR2