應特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過濾器（qì）WGMXMSRR2，現貨（huò）4個

Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器

這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，並在 超純氣體應用 以及（jí） 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。

PTFE 濾芯在超純應用中表現（xiàn）出色 
專為高流量和低增量壓（yā）力應用而設計 
用於惰性和反應性氣體，包括（kuò）臭氧 
為快速啟動而預先調節（僅限銀色） 
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣（qì）體過濾器應用
兼容所有類（lèi）別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材（cái）料 濾芯 由模壓 PFA 結構（gòu）支撐的疏水 PTFE 膜（mó）
  住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔（jié）度 粒子 小於 0.03 個顆粒（lì）/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
  揮發（fā）物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低（dī）於 LDL THC（檢（jiǎn）測（cè）下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部（bù） WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
  WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒（miǎo）
  經（jīng）過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
  最大入口壓力
  Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
    青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭（tóu）：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
    Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
  最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
  最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
  最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考（kǎo）性能（néng）數據
保修單 青（qīng）銅 1年
  銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去（qù）除所有顆粒（參考最（zuì）具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫（háo）米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉（wěi）洛克118.7 毫（háo）米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克（kè）112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世（shì）偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））

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