美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard® III NF Micro XL 在線氣體過濾器
為超純氣體係統過濾提供卓越的微（wēi）粒過濾，是高溫和（hé）動態壓力（lì）應用的理想選擇。
最先進的外殼組件通過最小化焊接區域來消除除氣
全金（jīn）屬結構是高溫和動態壓力應用的（de）理想選擇
緊湊的尺寸和靈（líng）活（huó）的配件選擇提供（gòng）了最高的設計效（xiào）率並（bìng）最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard
III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管（guǎn）線
高溫應用
新（xīn）工廠建設
動壓應用
惰（duò）性和活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒（lì）子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭（tóu）尺寸和類型 長度
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭（tóu）兼容）外螺紋入口/出口（kǒu） 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭（tóu）用塑料蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣（qì）體過濾器與高純度氣體兼（jiān）容，並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應（yīng）用中提供卓（zhuó）越的顆粒過（guò）濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現（xiàn）出色（sè）
專為（wéi）高流量和低增量壓力應用而設計
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先調（diào）節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別（bié）的半導（dǎo）體工藝氣（qì）體
與一般氮氣和 CDA 應（yīng）用兼容（róng）
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐（chēng）的疏水 PTFE 膜
住房 電拋（pāo）光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔（jié）度 粒子 小於 0.03 個顆粒（lì）/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等（děng）級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過（guò）測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件（jiàn）
最大入口壓（yā）力
Silver 和（hé） Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容（róng）接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和（hé） Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差（chà） 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青（qīng）銅 1年（nián）
銀 3年
顆粒（lì）保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆（kē）粒（參考最具穿（chuān）透性的顆（kē）粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過（guò）濾（lǜ）器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公（gōng） VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克（kè）117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（mǐ）（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫（háo）米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫（háo）米（mǐ）（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫（háo）米（mǐ）（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
美國ENTEGRIS英（yīng）特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨（huò）
美國ENTEGRIS英（yīng）特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
特種氣體
特種氣（qì）體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥（yào）、電子及石油化工在內的許多（duō）行（háng）業都會受益於特種氣體（tǐ）的獨特性質，它有助於（yú）提高產量、優化（huà）性能以及降低成本。我（wǒ）們富有經驗的應用團隊（duì）遍布全球，可以根據對您的（de）行業和應用情況的了解，為您提供特種氣體供（gòng）應解決方案，以滿足（zú）您的（de）獨特（tè）需求。
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器是一種（zhǒng）緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合（hé）使用（yòng）。
合身尺寸
Gasketgard 在線墊圈（quān）過濾器是一種緊（jǐn）湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊（qí）
設計（jì）用於輕鬆插（chā）入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用（yòng）
保護（hù）關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設（shè）施（shī）中製造
應用（yòng）
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏（mǐn）感（gǎn）氣（qì）體（tǐ）成（chéng）分
適用於高壓和高（gāo）溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽（xiù）鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼（gāng）
顆粒保（bǎo）留： 去除所有大於 0.3 µm 直徑的顆粒超（chāo）過 95%
運行條件： 最大壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器部（bù）件號
零（líng）件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型（xíng）帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器
Gasketgard 在線（xiàn）墊（diàn）圈過濾器是一（yī）種緊湊型全金屬過（guò）濾器（qì），可與標（biāo）準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺（chǐ）寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲（chǔ） 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線（xiàn）墊圈過濾器是一種緊湊型全（quán）金屬過濾器，可代替標準（zhǔn）的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊（diàn）圈。
保持器便於對齊（qí）
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護（hù）關鍵部件免受顆粒物（wù）損壞
在世（shì）界（jiè）一流的 ISO 認（rèn）證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應（yīng）用（yòng）
用於保護（hù）敏感（gǎn）氣體成分
適用於高壓和高溫應用
產品規（guī）格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持（chí）器 316 不鏽（xiù）鋼（gāng）
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 µm 直徑的（de）顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕 (29 巴, 421 psid)
最高（gāo）工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器部件號
零（líng）件號 接（jiē）頭尺寸和類（lèi）型 長度（dù）
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫（háo）米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸） 29.5 毫（háo）米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板（bǎn）顯示器（qì） 數（shù）據存儲 引領
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）裝（zhuāng））
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器（qì）
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器（qì）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器（qì）
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過程（chéng）
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注（zhù）入 光刻
Gasketgard 在線墊（diàn）片（piàn）過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器