Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體過濾器（qì），WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體（tǐ）過濾（lǜ）器，WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器（qì），WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型（xíng）號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器，WGMXMPRR4型號30個（gè）
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard® III NF Micro XL 在線氣（qì）
體過濾（lǜ）器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨（huò）
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美（měi）國ENTEGRIS英特格（gé），過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾（lǜ），是（shì）高溫和（hé）動態壓力應用的理想選擇。
最先（xiān）進的外殼組件通過最小化焊接區域來消除除氣
全金屬結（jié）構是高溫和動（dòng）態壓（yā）力應用的理想選擇
緊湊（còu）的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效率並最（zuì）大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體（tǐ）過濾器應用（yòng）
超純氣體管線
高溫應用
新（xīn）工廠建設
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規（guī）格
材料 濾芯 燒（shāo）結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68ºF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
.特（tè）種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體（tǐ）。包括分析、醫藥、電
子及石油（yóu）化工在內的許多行（háng）業都會受益於特種氣（qì）體的獨特性質，它（tā）有助於提高產量
、優化性能（néng）以及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全球，可以根（gēn）據對您的行
業和應（yīng）用情況的了解，為您提供特種氣體供（gòng）應解（jiě）決方案，以滿足您的獨（dú）特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金（jīn）屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長（zhǎng）度
25 毫米（0.98 英（yīng）寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平（píng）板（bǎn）顯示器 數據存儲（chǔ） 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋（wén）入口/出口 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈（quān）密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出口（kǒu），接頭（tóu）用塑料
蓋代替金（jīn）屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短（duǎn）型 50.8 毫
米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過（guò）濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器（qì）與高純度（dù）氣（qì）體兼容，並在 超純氣體應（yīng）用 以及 一（yī）般（bān）氮氣和
CDA 應用中提（tí）供卓越的顆（kē）粒過濾。
PTFE 濾芯（xīn）在超純應（yīng）用中表（biǎo）現出色
專為高流量（liàng）和低增量壓（yā）力應用而（ér）設計
用於惰性和反（fǎn）應性氣（qì）體，包括臭氧
為（wéi）快速啟動（dòng）而預先調節（jiē）（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類（lèi）別的半導體（tǐ）工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應（yīng）用兼容
產品規（guī）格
材料 濾芯（xīn） 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋（pāo）光低硫（liú） 316L 不鏽鋼外殼
下遊清（qīng）潔度 粒（lì）子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢（jiǎn）測下限為 5 ppb）
移除等級（jí） ≥0.0015 微米
表麵（miàn）處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行（háng）條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保（bǎo）留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去（qù）除（chú）所有顆粒（參考最具穿（chuān）透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMBSS2 1/4" 世偉（wěi）洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫（háo）米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫（háo）米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊（diàn）圈過濾器是（shì）一種緊湊型（xíng）全金屬過濾（lǜ）器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標（biāo）準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免（miǎn）受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在（zài）線（xiàn）墊片過濾器（qì）應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用（yòng）於保護敏感氣體成分
適（shì）用於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到（dào） 316L 不鏽鋼（gāng）墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持（chí）器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有（yǒu）大於 0.3 µm 直（zhí）徑的（de）顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺（chǐ）寸（cùn）和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持（chí）器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾（lǜ）器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金（jīn）屬過（guò）濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊（diàn）圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫（háo）米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數（shù）據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜（mó） 沉（chén）積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾（lǜ）器
Gasketgard 在線墊圈過濾器（qì）是一（yī）種緊（jǐn）湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於（yú）對（duì）齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適（shì）合高壓和高溫應用
保護關鍵部（bù）件免（miǎn）受顆粒物損壞（huài）
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於（yú）最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和（hé）高溫應用
產品（pǐn）規格
材料： 焊（hàn）接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不（bú）鏽鋼
顆粒（lì）保（bǎo）留： 去（qù）除所有大於 0.3 µm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大（dà）壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型（xíng） 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英（yīng）寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾（lǜ）器（qì）
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006
，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，
CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06
，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06
，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，
CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006
，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006
，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06
，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06
，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，
CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006
，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，
CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006
，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，
CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006
，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，
CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006
，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，
CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，
CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，
CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，
CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，
CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，
CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，
CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，
CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，
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EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，
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TGCGATXC1，TGCGATXK1，TGDGATX0F，TGDGATX1F，TGDGATX2F，
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WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，
WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，
WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，
WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，
WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，
WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，
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WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
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Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
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ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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