Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體（tǐ）過濾器，WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個
這些在線 PTFE 氣（qì）體過濾器與高純（chún）度氣體兼（jiān）容，並在 超純氣體（tǐ）應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓（zhuó）越（yuè）的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在（zài）超純應用中表現（xiàn）出色
專為（wéi）高流量和低增（zēng）量壓力應用而設（shè）計
用於惰性和反應性氣（qì）體，包括臭氧
為快速啟動而預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard
MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用（yòng）
兼容所有類（lèi）別的半導（dǎo）體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應（yīng）用兼容
產品規（guī）格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水（shuǐ） PTFE 膜（mó）
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下（xià）遊清（qīng）潔度 粒子 小於 0.03 個（gè）顆粒/升 (<1 個顆（kē）粒/ft 3 ) 大於（yú） 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限（xiàn）為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和（hé） 1⁄2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反（fǎn）向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數（shù）據
保（bǎo）修單（dān） 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（lì）（參考最具（jù）穿透性的顆粒尺寸）
零件（jiàn）號（hào）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣（qì）體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMBSS2 1/4" 世（shì）偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世（shì）偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世（shì）偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉（wěi）洛克（kè）112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGMXMBRR4 15235 過（guò）濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
Entegris WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動（dòng）閥
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器（qì）
Entegris WG3NS6RR2 16379 過（guò）濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS YY260103N 17526 過（guò）濾器
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個） 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾（lǜ）芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過（guò）濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯（xīn）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥（fá）
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器（qì）
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
Entegris WGFGMBRR4 12026
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯（xīn）
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾（lǜ）器（qì）
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾（lǜ）器
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個） 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥（fá）
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動（dòng）閥
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
Entegris WG2FT1RR2 20415 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾（lǜ）芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
美國ENTEGRIS應特（tè）格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard® III NF Micro XL 在線氣
體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格（gé），過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓力應用的理（lǐ）想選擇（zé）。
最先進（jìn）的外殼（ké）組件通過最小化（huà）焊接（jiē）區域來消除除氣
全（quán）金屬（shǔ）結構是高溫和動態壓力應用的理想選擇
緊湊的尺寸（cùn）和靈活的配件選擇提供了最高的設計效（xiào）率並最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體（tǐ）過濾器應（yīng）用
超純（chún）氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規格
材料（liào） 濾芯 燒結（jié）鎳（niè）膜過濾器
住房（fáng） 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼（ké）
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68ºF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號（hào）
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾（lǜ）器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣體是（shì）指稀有氣體或超（chāo）高（gāo）純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電
子及石油化工在內的許多（duō）行業都會受益於特（tè）種氣體（tǐ）的獨特性質，它有助於提高產量
、優化性能以及降低成本。我們富（fù）有經驗的應用團隊遍（biàn）布全球，可以根據對您的行
業和應用情況的了解，為您（nín）提（tí）供特種（zhǒng）氣（qì）體供（gòng）應解（jiě）決方案，以滿足您的獨特需求（qiú）。
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬（shǔ）過濾器，可（kě）與標（biāo）準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈（quān）配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度（dù）
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導（dǎo）體（tǐ） 平板顯示器（qì） 數據存儲（chǔ） 引領
過程
散裝（zhuāng）氣體輸送 薄膜（mó） 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻（kè）
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出口（kǒu） 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋入口/出口，接頭用塑料
蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容（róng））外螺紋入口/出口（kǒu），短型 50.8 毫
米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體（tǐ）過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，並（bìng）在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和
CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色
專為高流量（liàng）和低增量壓力（lì）應用而設計
用於惰性（xìng）和反（fǎn）應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而（ér）預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣（qì）體
與一般（bān）氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材（cái）料 濾芯 由模（mó）壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光（guāng）低硫（liú） 316L 不鏽鋼外（wài）殼
下遊清潔度（dù） 粒子 小於（yú） 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為（wéi） 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內（nèi）部（bù） WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級（jí） 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件（jiàn）
最大入（rù）口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫（wēn）度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保（bǎo）修單 青銅 1年
銀（yín） 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（lì）（參考最具穿透性（xìng）的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號（hào）
零件（jiàn）號 接頭尺（chǐ）寸和（hé）類（lèi）型 長度（dù）
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMPRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（mǐ）（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾（lǜ）器（qì）
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持（chí）器便於對齊（qí）
設計用於輕鬆插入標準氣（qì）體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件（jiàn）免受顆粒物（wù）損壞
在世界一流的 ISO 認證設（shè）施中製（zhì）造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於（yú）保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽（xiù）鋼過濾介質
保持器 316 不（bú）鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 µm 直徑的顆粒超過 95%
運（yùn）行條件： 最大壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫（wēn）度 400°C (752°F) [惰（duò）性（xìng）氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號（hào） 接頭尺寸和類（lèi）型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（mǐ）（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標（biāo）準（zhǔn） 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配（pèi）合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫（háo）米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器（qì） 數據存儲 引領（lǐng）
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子（zǐ）注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾（lǜ）器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一（yī）種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準（zhǔn）的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊（diàn）圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆（kē）粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應（yīng）用
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上（shàng）的燒結 316L 不鏽（xiù）鋼過濾介（jiè）質（zhì）
保（bǎo）持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 µm 直徑的顆粒超過（guò） 95%
運行條件： 最大壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕（pà） (29 巴, 421 psid)
最高工作溫（wēn）度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號（hào） 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器（qì） 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫（háo）米（1.16 英（yīng）寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006
，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，
CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06
，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06
，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，
CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006
，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006
，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06
，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06
，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，
CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006
，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，
CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006
，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，
CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006
，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，
CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006
，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，
CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，
CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，
CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，
CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，
CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，
CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，
CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，
CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，
CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，
CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，
CTFA01P01，CTFA01PTF，CTFA01TPE，CTFA02P01，CTFA02TPE，
CTFA0SP01，CTFA0SPSF，CTFA0STPE，CTFG01P01，CTFG01PSF，
CTFG01PT1，CTFG01PTF，CTFG01TC1，CTFG01TK1，CTFG01TPE，
CTFG02P01，CTFG02TPE，CTFG03TPE，CTFG0SP01，CTFG0SPSF，
CTFG0SPTF，CTFG0STPE，CTFH01PTF，CTFH01TPE，CTFH02TPE，
CTFH03TPE，CTFH0STPE，CTFV01P01，CTFV01PSF
，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，
CTFV02P01，CTFV02TPE，CTFV03TPE，CTFV0SP01，CTFV0SPSF，
CTFV0SPTF，CTFV0STPE，CTFZ01P01，CTFZ01PT1，CTFZ01PTF，
CTFZ01TC1，CTFZ01TK1，CTFZ01TPE，CTFZ02P01，CTFZ02TPE，CTFZ03TPE
，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，
EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，
EGDZHPX0S，EGDZHPX2F，EGDZHPX2S，EGDZHPXTH，EPFVHPSST，
EPFVHPXTW，GDCG01P01，GDCG01TK1，GDCG01TPE，GDCG02P01，
GDCG0SP01，GDCG0SPC1，GDCG0SPK1，GDCV01P01，GDCV01TK1，
GDCV01TPE，GDCV02P01，GDCV0SP01，GDCV0SPC1，GDCV0SPK1，
GDCZ01P01，GDCZ01TK1，GDCZ01TPE，GDCZ02P01，GDCZ0SP01，
GDCZ0SPC1，GDCZ0SPK1，GDDGATSST，GDDGATSTH，GDDGATSTT，
GDDGATX0F，GDDGATX1F，GDDGATX2F，GDDGATX4F，GDDGATXST，
GDDGATXTH，GDDGATXTT，GDDGHPX0F，GDDGHPX0S，GDDGHPX2F，
GDDGHPX2S，GDDVATSST，GDDVATSTH，GDDVATSTT，GDDVATX0F，
GDDVATX1F，GDDVATX2F，GDDVATX4F，GDDVATXST，GDDVATXTH，
GDDVATXTT，GDDVDEV0F，GDDVDEV1F，GDDVD GDDVDEV4F，
GDDVHPX0F，GDDVHPX0S，GDDVHPX2F，GDDVHPX2S，GDDZATSST，
GDDZATSTH，GDDZATSTT，GDDZATX0F，GDDZATX1F，GDDZATX2F，
GDDZATX4F，GDDZATXST，GDDZATXTH，GDDZATXTT，GDDZDEV0F，
GDDZDEV1F，GDDZ GDDZDEV4F，GDDZHPX0F，GDDZHPX1S，
GDDZHPX2F，GDDZHPX2S，GHPG01P01，GHPG01PLT，GHPG02P01，
GHPG02PLT，GHPG0SP01，GHPV01P01，GHPV01PLT，GHPV02P01，
GHPV02PLT，GHPV0SP01，GHPZ01P01，GHPZ01PLT，GHPZ02P01，
GHPZ02PLT，GHPZ0SP01，PFFG01P4F，PFFG01P4P，PFFG01P6P，
PFFG03D4S，PFFV01P4F，PFFV01P4P，PFFV01P6P，PFFV03D4S，
PFFZ01P4F，PFFZ01P4P，PFFZ01P6P，PFFZ03D4S，QCCGAT101，
QCCGAT1C1，QCCGAT1K1，QCCGATX01，QCCGPF401，QCCGPF801，
QCCGSTX01，QCCVAT101，QCCVAT1C1，QCCVAT1K1，QCCVATX01，
QCCVATXC1，QCCVATXK1，QCCVPF401，QCCVPF4C1，QCCVPF4K1，
QCCVPF801，QCCVPF8C1，QCCVPF8K1，QCCVSTX01，QCCVSTXC1，
QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，
QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，
QCDG15P8P，QCDG30P2P，QCDG30P3F，QCDG30P8P，QCDGATX0F，
QCDGATX1F，QCDGATX2F，QCDGATXLH，QCDGATXTF，QCDGATXTH，
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QCDGPF81F，QCDGPF82F，QCDGPF8LH，QCDGPF8TH，QCDGSTX0F，
QCDGSTX1F，QCDGSTX2F，QCDGSTXLH，QCDGSTXTF，QCDGSTXTH，
QCDGSTXTW，QCDV15P3F，QCDV15P8P，QCDV30P2P，QCDV30P3F，
QCDV30P8P，QCDVATX0F，QCDVATX1F，QCDVATX2F，QCDVATXLH，
QCDVATXTF，QCDVATXTH，QCDVATXTW，QCDVPF40F，QCDVPF41F，
QCDVPF42F，QCDVPF80F，QCDVPF81F，QCDVPF82F，QCDVPF8LH，
QCDVPF8TH，QCDVSTX0F，QCDVSTX1F，QCDVSTX2F，QCDVSTXLH，
QCDVSTXTF，QCDVSTXTH，QCDVSTXTW，QCDZ15P3F，QCDZ15P8P，
QCDZ30P2P，QCDZ30P3F，QCDZ30P8P，QCDZATX0F，QCDZATX1F，
QCDZATX2F，QCDZATXLH，QCDZATXTF，QCDZATXTH，QCDZATXTW，
QCDZPF40F，QCDZPF41F，QCDZPF42F，QCDZPF80F，QCDZPF81F，
QCDZPF82F，QCDZPF8LH，QCDZPF8TH，QCDZSTX0F，QCDZSTX1F，
QCDZSTX2F，QCDZSTXLH，QCDZSTXTH，QCDZSTXTW，
RGCG01P01，RGCG01PLT，RGCG02P01，RGCG03P01，RGCG0SP01，
RGCV01P01，RGCV01PLT，RGCV02P01，RGCV03P01，RGCV0SP01，
RGCZ01P01，RGCZ01PLT，RGCZ02P01，RGCZ03P01，RGCZ0SP01，
RGDGHPS0F，RGDGHPX0F，RGDGHPXTH，RGDVHPS0F，RGDVHPX0F，
RGDVHPXTH，RGDZHPS0F，RGDZHPX0F，RGDZHPXTH，TGCGATX01，
TGCGATXC1，TGCGATXK1，TGDGATX0F，TGDGATX1F，TGDGATX2F，
TGDGATXLH，TGDGATXTF，TGDGATXTH，TGDGATXTW，WDFA40W0A，
WDFA40W0F，WDFA40W1F，WDFA40W2F，WDFA80PTF，WDFA80W0A，
WDFA80W0F，WDFA80W2F，WDFG40PSF，WDFG40PTF，WDFG40PTW，
WDFG40W0A，WDFG40W0F，WDFG40W1F，WDFG40W2F，WDFG80PSF，
WDFG80PTF，WDFG80PTW，WDFG80W0A，WDFG80W0F，WDFG80W2F，
WDFGATX0F，WDFV40PSF，WDFV40PTF，WDFV40PTW，WDFV40W0A，
WDFV40W0F，WDFV40W1F，WDFV40W2F，WDFV80PSF，WDFV80PTF，
WDFV80PTW，WDFV80W0A，WDFV80W0F，WDFV80W1F，WDFV80W2F，
WDFVATX0F，WDFVATX2F，WDFZ40PTF，WDFZ40W0A，WDFZ40W0F，
WDFZ40W1F，WDFZ40W2F，WDFZ80PTF，WDFZ80W0F，WDFZ80W1F，
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WDPM0CPSF，WGFA40P01，WGFA80P01，WGFG06D31，WGFG40P01，
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YY361010A，YY361014U，YY3610170，YY3610180，YY3610190，YY3610E0A
，YY3610E4U，YY361210A，YY3612170，YY362210A，YY362214U，
YY3622170，YY3622190，YY36HA20A，YY36HA24U，YY4010102，
YY4010104，YY4010106，YY4010108，YY40101A0，YY4110104，YY4110106
，YY411010A，YY411010B，YY411010L，YY411014B，YY4110160，
YY4110170，YY41101AL，YY411210A，YY411210B，YY411214B，YY4112160
，YY4112170，YY412210A，YY412210B，YY412214B，YY4122160，
YY4122170，YY41HA20A，YY41HB20B，YY41HB20L，YY41HB24B，
YY4510102，YY4510104，YY4510106，YY4510108，YY4510140，YY4510180
，YY4510190，YY45101A0，YY45S01B0，YY4600001，YY4600002，
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YY461030A，YY461034T，YY4610U0K，YY461204B，YY461210A，YY461210B
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，YY46S0U0K，YY50010R3，YY5500001，YY5500004，YY5500005，
YY5500010，YY5500020，YY55P4000，YY55P8000，ABUG0L0M1，
ABUG0LEM1，ABUG0LKM1，ABUG0S0M1，ABUG0SEM1，ABUG0SKM1，
ABUV0L0M1，ABUV0LEM1，ABUV0LKM1，ABUV0S0M1，ABUV0SEM1，
ABUV0SKM1，ABUZ0L0M1，ABUZ0LEM1，ABUZ0LKM1，ABUZ0S0M1，
ABUZ0SEM1，ABUZ0SKM1，AHUV0L0M1，AHUV0LEM1，AHUV0LKM1，
AHUV0S0M1，AHUV0SEM1，AHUV0SKM1，AHUZ0L0M1，AHUZ0LEM1，
AHUZ0LKM1，AHUZ0S0M1，AHUZ0SEM1，AHUZ0SKM1，AMFT222E1，
AMFT222K1，AMFT332E1，AMFT332K1，AMFT442E1，AMFT442K1，
AMFT664E1，AMFT664K1，AMFT884E1，AMFT884K1，CBUG0L0S1，
CBUG0S0F1，CBUG0S0P1，CBUG0S0S1，CBUG16EL1，CBUG16KL1，
CBUG2L0F1，CBUG2L0P1，CBUG3L0F1，CBUG3L0P1，CBUG3L0S1，
CBUG3S0F1，CBUG40EL1，CBUG40KL1，CBUG40TL1，CBUG6S0P1，
CBUG8L0P1，CBUG8S0P1，CBUV0L0F1，CBUV0L0S1，CBUV0S0F1，
CBUV0S0P1，CBUV0S0S1，CBUV16EL1，CBUV16KL1，CBUV2L0F1，
CBUV2L0P1，CBUV3L0F1，CBUV3L0P1，CBUV3L0S1，CBUV40EL1，
CBUV40KL1，CBUV40TL1，CBUV6S0P1，CBUV8L0P1，CBUV8S0P1，
CBUZ0L0F1，CBUZ0L0S1，CBUZ0S0F1，CBUZ0S0P1，CBUZ0S0S1，
CBUZ16EL1，CBUZ16KL1，CBUZ2L0P1，CBUZ3L0P1，CBUZ3L0S1，
CBUZ40EL1，CBUZ40KL1，CBUZ40TL1，CBUZ6S0P1，CBUZ8L0P1，
CBUZ8S0P1，
CHUV0L0S1，CHUV0S0P1，CHUV0S0S1，CHUV16EL1，CHUV16KL1，
CHUV2L0P1，CHUV3L0P1，CHUV3L0S1，CHUV40EL1，CHUV40EM1，
CHUV40KL1，CHUV40KM1，CHUV6S0P1，CHUV8L0P1，CHUV8S0P1，
CHUZ0L0S1，CHUZ0S0P1，CHUZ0S0S1，CHUZ16EL1，CHUZ16KL1，
CHUZ2L0P1，CHUZ3L0P1，CHUZ3L0S1，CHUZ40EL1，CHUZ40EM1，
CHUZ40KL1，CHUZ40KM1，CHUZ6S0P1，CHUZ8L0P1，CHUZ8S0P1，
CW00NU301，CW00NUS01，CW00PT301，CW00PTS01，CW00PTS31，
CWAG0L0S1，CWAG0S0S1，CWAG0S1S3，CWAG160L1，CWAG16EL1，
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CWAZ0L0S1，CWAZ0S0S1，CWAZ0S1S3，CWAZ160L1，CWAZ16EL1，
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CWUH16KL2，CWUV00PL1，CWUV0S0P1，CWUV0S0S1，CWUV0S0S3，
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CWUV40EM1，CWUV40EP1，CWUV40KL1，CWUV40KM1，CWUV40PP1，
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CWUZ16EL2，CWUZ16KL2，CWUZ3L0P1，CWUZ3L0S1，CWUZ400L1，
CWUZ40EL1，CWUZ40KL1，CWUZ40KM1，CWUZ40TL1，CWUZ6S0P1，
CWUZ8S0P1，DZU004401，DZUM04401，DZUM044C1，DZUMC4401，
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PFFG01D8S，PFFV01D4S，PFFV01D8S，PFFV03D4P，PFFV03D6P，
PFFZ01D8S，PFFZ03D4P，WGFA04HP6，WGFA16HP2，WGFA40H01，
WGFA40HP1，WGFG04HP6，WGFG04TP6，WGFG16CP2，WGFG16D01，
WGFG16D21，
WGFG16HP1，WGFG16HP2，WGFG16HT2，WGFG16TP2，WGFG40D01，
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WGFG40T01，WGFV04HP6，WGFV16CP2，WGFV16D01，WGFV16D21，
WGFV16HP1，WGFV16HP2，WGFV16HT2，WGFV16KP2，WGFV16NP2，
WGFV40C01，WGFV40D01，WGFV40H01，WGFV40HP1，WGFV40HT1，
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YY5000410，YY5000421，YY5000425，YY5000426，YY5000427，YY5000430
，YY5000431，YY5000432，YY5000433，YY5000434，YY5000436，
YY5000437，YY5000438，YY5000440，YY5001600，YY500400A，YY50P1600
，YY50P1606，YY50P160S，YY5M1L0K0，YY5M1L0V0，YY5M1LSVA，
YY5M1LSVC，YY5M1U4KA，YY5M1UKV0，YY5M1USVA，YY5M1USVD，
YY5M2L3VA，YY5M2LSPA，YY5M2U0K0，YY5M2U0V0，YY5M2USVA，
YY5S1U1KB，YY5S1U1T0，ENC0M1CN0，ENC0MPH01，ENC0MPH02，
ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，
ENC0MTC01，INGEN1PU0，INGEN1PU1，INGEN1ST0，INGEN2DVC，
INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，
INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，
INGN2SP14，INGN2SP15，INGN2SP19，INGN2SP21，INGN2SP22，
INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，
R2501PH01，R2501PH02，RGEN1SP06，W2501CB08，W2501CB12，
W2501CB16，W2501CB22，W2501CC01，W2501KP01，W2501PC01，
W2501PH01，W2501PH02，W2501RK01，W2501SP01，W2501SP02，
W2501SP03，W2501SP04，W2501SP07，W2501SP08，W2501SP09，
W2501SP10，W2501SP11，W2501SP12，W2501SP13，W2501SP14，
W2501SP15，W2501SP16，W2501SP17，W2501SP18，W2501SP19，
W2501SP20，W2501SP21，W2501TC01，W2501TC02，W2501TC03，
W2501TC04，W2501TC05，
W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，
WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，
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WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，
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WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，
WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，
WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
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WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
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WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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