美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣
體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過（guò）濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾（lǜ）器WGPM0GGG2，現貨
為超（chāo）純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和（hé）動態壓力應用的理（lǐ）想選（xuǎn）擇。
最先進的外殼組件（jiàn）通過最小化焊接區域來消除除氣
全金屬結構是高溫和動（dòng）態（tài）壓（yā）力應（yīng）用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效率並最大限度地降（jiàng）低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用（yòng）
超（chāo）純氣體管（guǎn）線
高溫應用（yòng）
新（xīn）工廠建設
動壓應（yīng）用
惰性和（hé）活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器（qì）
住（zhù）房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零（líng）件號（hào）
Wafergard III NF Micro XL 在線氣（qì）體過濾器部件號（hào）
零件號 接頭尺（chǐ）寸和（hé）類型 長度
.特種氣體
特（tè）種氣體是指稀（xī）有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電
子（zǐ）及石油化工在內的許多行業都會受益於特種氣體的獨特性質，它有助於提高產量
、優化（huà）性能以及降低成本。我們（men）富有（yǒu）經驗的應用團隊遍布全球，可以根據對（duì）您（nín）的行
業和應（yīng）用情況的（de）了解，為您提（tí）供特種氣體供應（yīng）解決方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器（qì）是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合（hé）使（shǐ）用。
合（hé）身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業（yè）
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝（zhuāng）氣體（tǐ）輸送 薄膜 沉積 幹（gàn）蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封（fēng）件（jiàn）（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入（rù）口/出口 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料
蓋代替金屬蓋保（bǎo）護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋（wén）入口/出口（kǒu），短型 50.8 毫
米（2.00"）
Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體（tǐ）過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和
CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色
專為高流量和低增量壓（yā）力應（yīng）用而設計
用於（yú）惰性和反應性氣（qì）體，包括臭（chòu）氧
為快速啟（qǐ）動而預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過（guò）濾器應用
兼容所有類別的半（bàn）導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結（jié）構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低（dī）硫 316L 不（bú）鏽鋼外殼（ké）
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀（yín）） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於（yú） LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移（yí）除等級 ≥0.0015 微米
表（biǎo）麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青（qīng）銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦（hài）泄漏等級（jí） 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經（jīng）過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼（jiān）容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼（jiān）容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀（yín） 3年
顆（kē）粒（lì）保留 大於（yú） 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣（qì）體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛（luò）克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫（háo）米（4.44 英（yīng）寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（mǐ）（4.67 英（yīng）寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WGMXMSBW3 3/8" 對（duì）焊管（guǎn） 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全（quán）金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊（diàn）圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準（zhǔn）氣體管線
非常（cháng）適合（hé）高壓和高溫應（yīng）用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞（huài）
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾（lǜ）器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分（fèn）
適用於高壓和（hé）高溫應用
產品（pǐn）規（guī）格
材料： 焊接到 316L 不鏽（xiù）鋼墊（diàn）片上（shàng）的燒結 316L 不鏽鋼過（guò）濾介質
保持器 316 不鏽（xiù）鋼
顆粒保留： 去除所有大於（yú） 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差（chà） 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號（hào） 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型（xíng）帶保持（chí）器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器（qì）是一（yī）種緊湊型全金（jīn）屬過濾器（qì），可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身（shēn）尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英（yīng）寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送（sòng） 薄膜（mó） 沉積 幹蝕刻（kè） 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一（yī）種緊（jǐn）湊（còu）型全金屬過濾器（qì），可（kě）代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈（quān）。
保持器便於對齊
設計用於（yú）輕鬆插入標準（zhǔn）氣體（tǐ）管線
非常適合高壓和高（gāo）溫應用
保護關鍵部件免受顆粒（lì）物損壞
在世（shì）界一流的 ISO 認證設施中製造（zào）
應用
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器應用
用於最高（gāo） 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫（wēn）應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片（piàn）上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直（zhí）徑的（de）顆粒超過 95%
運（yùn）行（háng）條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零（líng）件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型（xíng）帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾（lǜ）器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006
，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，
CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06
，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06
，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，
CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006
，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006
，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06
，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06
，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，
CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006
，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，
CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006
，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，
CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006
，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，
CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006
，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，
CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，
CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，
CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，
CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，
CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，
CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，
CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，
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，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，
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，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，
EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，
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QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，
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INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
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INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
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WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，
WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
最先（xiān）進的外殼組件通（tōng）過最小化焊接麵積來消除除氣
全金屬結構非常適合高溫和（hé）動（dòng）態壓力應用
緊湊的尺寸和靈活（huó）的配件選擇提供了極高的設計（jì）效率並最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管（guǎn）線
高溫和動（dòng）壓應用
惰性和反應性氣體
氣櫃和麵板
閥組箱
掛鉤
注意：不建議與 CO、O 3和低含量（liàng）氫化物摻雜劑氣體（tǐ）一起使（shǐ）用
產（chǎn）品規格
材料 濾膜 鎳
外殼，端蓋 低硫316L不鏽鋼
初始下遊清潔度 ≤0.03 個顆粒/升（≤1 個顆粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等級（jí） ≥0.0015 微米
顆粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm
(Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346
psid) at 20°C (68°F)
Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid)
@RT
Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
零件（jiàn）號
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過（guò）濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS1RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭（tóu）兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米
（3.31 英寸）
WG3NS2RR2 1/4" 墊（diàn）片密封（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋入口/出口 127.0 毫米
（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 墊片密（mì）封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.3 毫米
（5.25 英寸）
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼（ké）
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾（lǜ）殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過（guò）濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾（lǜ）器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器（qì）
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥（fá）
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥（fá）
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥（fá）
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過（guò）濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥（fá）
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾（lǜ）芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過（guò）濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器（qì）
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯（xīn）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包（bāo）十個） 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾芯（xīn）
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過（guò）濾（lǜ）器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾（lǜ）芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾（lǜ）芯（xīn）
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個） 17994 濾芯（xīn）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾（lǜ）芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包
裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過
濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
美國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾
器,CBUG0S0S1
專為使用（yòng）點 (PoU) 光刻工藝中的去離子水應用而設計的液體光化學
過濾器。小膠囊形狀係數和幹淨的膜/支撐/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提供高純（chún）
度汙染物去除性能。
應（yīng）用
Optimizer DI 過濾器應用
行業（yè）：半導體（光刻）
化學：光
化學、溶（róng）劑
安裝點：工（gōng）具點
產品規格
材料 膜： UPE*
支撐、核心、套筒： 高密度聚
乙烯
住房： 聚丙烯
膜麵積 DI 1800 平方厘米（1.94 平方英（yīng）尺）
DI-L 3600 平方厘
米（3.88 平方英尺）
DI-L (20 納米) 2100 平方（fāng）厘（lí）米（2.26 平方英（yīng）尺）
保留評級
DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微米、20 納米
配件 提（tí）供範圍（wéi）廣泛的接頭，包
括 Super Type Pillar 接頭、壓縮密（mì）封件（與 Swagelok 兼容的接頭）和 Flaretek
接頭。
運行條件 最大（dà）入口壓力 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方（fāng）英（yīng）寸（cùn），3.52 千克/
平方厘米）@ 25°C (77°F)
最大正向/反（fǎn）向壓差 0.345 兆（zhào）帕（3.45 巴，50 磅/平方
英寸，3.52 千克/平方厘米（mǐ））@ 25°C (77°F)
0.28 MPa（2.8 bar，40 psi，
2.8 kg/cm²）@ 25°C（77°F）
工作溫（wēn）度 60°C (140°F)
*表麵改（gǎi）性（xìng）UPE
Entegris 建
議客戶至（zhì）少每年更換一次過濾器以確保最佳過（guò）濾性能。例行（háng）的年度更換也將減少因
過度使用而導致化學（xué）品泄漏的可能性。
我們的標準保（bǎo）修期為 1 年（自（zì） Entegris 發貨
之日起）。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾
器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器（qì）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4
過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
