美國ENTEGRIS應特格過濾器，WGMXLBRR4
美國ENTEGRIS應特格過濾器（qì），WGMXLBRR4
美國ENTEGRIS應特（tè）格過濾器，WGMXLBRR4
PART NUMBER FITTING SIZE & TYPE LENGTH
WGMXLBRR4 1/2" gasket seal (VCR
compatible),
male inlet/outlet
127.0 mm (5.0")
WGMXLBSS4 1/2" compression seal (Swagelok
compatible), male inlet/outlet
118.7 mm (4.67")
WGMXLPRR6 3/4" gasket seal (compatible with
VCR fitting), male inlet/outlet
158.8 mm (6.25")
SPECIFICATIONS
Membrane Hydrophobic PTFE membrane supported by
molded PFA structures
Housing 316L stainless steel
Materials
O-ring Encapsulated fluoroelastomer (E-FKM)
Surface finish interior ≤25 µin Ra (RR4, SS4), ≤7 µin Ra (RR6)
Removal rating ≥99.9999999% removal of ≥0.0015 µm particles in gas
Downstream cleanliness <0.03 particlester (<1 particle/ft3) >0.01 µm
Maximum inlet pressure 37 bar (538 psig)
Maximum forward differential
pressure
3.9 bar (57 psig)
Maximum reverse differential
pressure
2.5 bar (36 psid)/RR4, SS4 0.5 bar (7 psid)/RR6
Maximum operating
conditions
Maximum operating
temperature
120°C (248°F)
Helium leak rating 1 × 10-10 Pa.m3c
Warranty 1 year
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器（qì）WGPM0GGG2，現貨
為超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動（dòng）態壓力應用的理想選擇。
最先進的外殼組件通（tōng）過最小化焊接區域來消除除氣
全金屬結構是高溫和動態（tài）壓力應用的理想選擇
緊（jǐn）湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設（shè）計效率並（bìng）最大限度地（dì）降低了工程成本（běn）
應（yīng）用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純（chún）氣體（tǐ）管線
高溫應用
新工廠（chǎng）建設
動壓應用
惰性和活性氣體（tǐ）
產品規格
材料（liào） 濾芯 燒結鎳膜（mó）過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清（qīng）潔度 粒子（zǐ） <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線（xiàn）氣體過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類型 長（zhǎng）度
.特種氣（qì）體
特種氣體是指稀（xī）有氣體或超高純（chún）度（99.995% 以（yǐ）上）的氣體（tǐ）。包括分析（xī）、醫藥（yào）、電子及石油化工在內的許多行業都會（huì）受益於特種氣體的獨特性質，它有助於（yú）提高產（chǎn）量（liàng）、優化性能（néng）以及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全球，可（kě）以根據對您的行業和應用情況的了解，為您提供特種氣（qì）體供應解決方案，以滿（mǎn）足您的（de）獨特（tè）需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全（quán）金屬過濾（lǜ）器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺（chǐ）寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（mǐ）（1.16 英寸）
行業
半導體 平板（bǎn）顯示器 數（shù）據（jù）存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋（wén）入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出（chū）口（kǒu），接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊（diàn）圈（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出口（kǒu），短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，並在 超純（chún）氣體（tǐ）應（yīng）用 以（yǐ）及（jí） 一般氮氣和 CDA 應（yīng）用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾（lǜ）芯在超純應用中表現出色（sè）
專為高流量和低增量壓力應用而設計
用（yòng）於惰性和（hé）反應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先調節（僅（jǐn）限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體（tǐ）
與一般氮氣和 CDA 應用（yòng）兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支（zhī）撐的（de）疏水 PTFE 膜
住房 電拋光（guāng）低硫 316L 不鏽鋼外殼
下（xià）遊清潔度 粒子 小於（yú） 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低（dī）於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微（wēi）米（mǐ）
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏（lòu）等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大（dà）入（rù）口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和（hé） 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容（róng）接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大（dà）正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴（bā） (36 psid)
最高工（gōng）作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保（bǎo）修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具（jù）穿（chuān）透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部（bù）件號
零（líng）件（jiàn）號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世（shì）偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛（luò）克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管（guǎn） 133.4 毫（háo）米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫（háo）米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器（qì）是一種（zhǒng）緊湊型全金屬過濾器，可代替標（biāo）準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於（yú）對（duì）齊
設計用於（yú）輕鬆插入標（biāo）準（zhǔn）氣體管線
非常適合高壓和高（gāo）溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世（shì）界一（yī）流的 ISO 認證（zhèng）設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器應用（yòng）
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於（yú）高壓和高溫（wēn）應用
產品規格（gé）
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾（lǜ）介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴（bā）, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號（hào）
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶（dài）保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保（bǎo）持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈過（guò）濾器是一種（zhǒng）緊（jǐn）湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合（hé）使用。
合身尺寸（cùn）
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英（yīng）寸） 25.25 毫米（0.99 英（yīng）寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行（háng）業
半導（dǎo）體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體（tǐ）輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子（zǐ）注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過（guò）濾（lǜ）器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保（bǎo）持器便於對齊
設計用於輕鬆（sōng）插入標準氣體管（guǎn）線
非常（cháng）適合（hé）高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在（zài）世（shì）界一流（liú）的 ISO 認證設施（shī）中製造（zào）
應（yīng）用
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器應用
用於最（zuì）高 400°C (752°F) 的應用（yòng）
用於保護敏感氣體成分（fèn）
適（shì）用於高壓和高溫（wēn）應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片（piàn）上的燒結（jié） 316L 不鏽鋼（gāng）過濾（lǜ）介質
保持器 316 不（bú）鏽鋼
顆粒保（bǎo）留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高（gāo）工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零（líng）件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸（cùn））
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器（qì） 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，
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WGFG16HP1，WGFG16HP2，WGFG16HT2，WGFG16TP2，WGFG40D01，WGFG40H01，WGFG40HP1，WGFG40HT1，WGFG40KP1，WGFG40N01，WGFG40T01，WGFV04HP6，WGFV16CP2，WGFV16D01，WGFV16D21，WGFV16HP1，WGFV16HP2，WGFV16HT2，WGFV16KP2，WGFV16NP2，WGFV40C01，WGFV40D01，WGFV40H01，WGFV40HP1，WGFV40HT1，WGFV40K01，WGFV40KP1，WGFV40N01，WGFV40T01，WGFZ04HP6，WGFZ16D01，WGFZ16HP2，WGFZ40H01，WGFZ40HP1，YY5000400，YY5000410，YY5000421，YY5000425，YY5000426，YY5000427，YY5000430，YY5000431，YY5000432，YY5000433，YY5000434，YY5000436，YY5000437，YY5000438，YY5000440，YY5001600，YY500400A，YY50P1600，YY50P1606，YY50P160S，YY5M1L0K0，YY5M1L0V0，YY5M1LSVA，YY5M1LSVC，YY5M1U4KA，YY5M1UKV0，YY5M1USVA，YY5M1USVD，YY5M2L3VA，YY5M2LSPA，YY5M2U0K0，YY5M2U0V0，YY5M2USVA，YY5S1U1KB，YY5S1U1T0，ENC0M1CN0，ENC0MPH01，ENC0MPH02，ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，ENC0MTC01，INGEN1PU0，INGEN1PU1，INGEN1ST0，INGEN2DVC，INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，INGN2SP14，INGN2SP15，INGN2SP19，INGN2SP21，INGN2SP22，INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，R2501PH01，R2501PH02，RGEN1SP06，W2501CB08，W2501CB12，W2501CB16，W2501CB22，W2501CC01，W2501KP01，W2501PC01，W2501PH01，W2501PH02，W2501RK01，W2501SP01，W2501SP02，W2501SP03，W2501SP04，W2501SP07，W2501SP08，W2501SP09，W2501SP10，W2501SP11，W2501SP12，W2501SP13，W2501SP14，W2501SP15，W2501SP16，W2501SP17，W2501SP18，W2501SP19，W2501SP20，W2501SP21，W2501TC01，W2501TC02，W2501TC03，W2501TC04，W2501TC05，
W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
最先進的外（wài）殼組件通過最小化焊接麵積來消除除氣
全金屬結（jié）構非常適合高（gāo）溫和動態壓力應用
緊湊的尺寸和靈活的配件選（xuǎn）擇提供了極高的設計效率並最大（dà）限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫和動壓應用
惰性和反應性氣體
氣櫃和麵板
閥組箱
掛鉤
注意：不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用
產品規格
材料 濾膜 鎳
外殼，端蓋 低硫316L不鏽鋼
初始下遊清潔度 ≤0.03 個（gè）顆粒/升（≤1 個顆粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等級 ≥0.0015 微（wēi）米
顆粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm (Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346 psid) at 20°C (68°F)
Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid) @RT
Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
零（líng）件號
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器部件（jiàn）號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS1RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英（yīng）寸）
WG3NS2RR2 1/4" 墊（diàn）片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋（wén）入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 墊片密封（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.3 毫米（5.25 英寸）
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過（guò）濾器（qì）
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣（qì）體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥（fá）
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥（fá）
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過（guò）濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾芯（xīn）
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 過（guò）濾器
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器（qì）
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動（dòng）閥
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個） 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯（xīn）
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾（lǜ）殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器（qì）
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器（qì）
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測（cè）器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動（dòng）閥
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾（lǜ）器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 過（guò）濾器
Entegris SVTH01TQ1 20007 過（guò）濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器（qì）
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過（guò）濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個） 17994 濾芯（xīn）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾（lǜ）芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
美（měi）國ENTEGRIS英特格（gé）Optimizer? DI 過濾（lǜ）器,CBUG0S0S1
?專為使用（yòng）點?(PoU)?光（guāng）刻工藝中（zhōng）的去離子水應用而設計的液體（tǐ）光化學過濾器。小膠囊形（xíng）狀係（xì）數和幹淨的膜/支撐/殼（ké）材料在?>?28?nm?節點應用中提供高純度汙染物（wù）去除（chú）性能。
應用
Optimizer?DI?過濾器應用
行業：半導體（光刻）
化學（xué）：光化學、溶劑（jì）
安裝點：工具點
產品規格
材（cái）料 膜： UPE*
? 支撐、核心、套筒： 高密度聚乙烯
? 住房： 聚丙烯
膜麵積 DI 1800?平方厘（lí）米（1.94?平方英尺）
? DI-L 3600?平方（fāng）厘米（3.88?平方英尺）
? DI-L?(20?納米) 2100?平方厘米（2.26?平方英尺）
保（bǎo）留評級 DI,?DI-L 0.2、0.1、0.05?微米、20?納米
配件 提（tí）供範圍廣泛的接頭，包括?Super?Type?Pillar?接頭、壓縮（suō）密封件（與?Swagelok?兼容的接（jiē）頭）和?Flaretek?接頭。
運行條件 最（zuì）大入口壓力 0.345?兆帕（3.45?巴，50?磅/平方英寸，3.52?千克/平方厘米）@?25°C?(77°F)
? 最大正（zhèng）向（xiàng）/反向（xiàng）壓差 0.345?兆帕（3.45?巴，50?磅/平（píng）方英寸，3.52?千克/平方（fāng）厘米）@?25°C?(77°F)
? ? 0.28?MPa（2.8?bar，40?psi，2.8?kg/cm2）@?25°C（77°F）
? 工作溫度 60°C?(140°F)
*表麵改性UPE
Entegris?建議客戶（hù）至少每年更換一次過濾器以確保最佳過濾性能。例行的年度更換也將減少因過度使用而導致化學品泄漏的可能性。
我們的標準保修期為?1?年（自?Entegris?發貨（huò）之日起（qǐ））。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
