China Hi-Tech Service Bulletin
MIDAS-T-NP1 熱裂解器安（ān）裝指導說明
1，Midas-T-NP1 裂解器可以探測的氣體和（hé） Sensor 類型
Midas-T-NP1 裂解（jiě）器對本體版本要求：軟件版本不低於 V1.10；不正確（què）的 Sensor 類型和本體
軟件版本，不能啟動 NP1，將會報故障 F90。
2，Midas-T-NP1 裂（liè）解（jiě）器安（ān）裝要求（qiú）及典型（xíng）問題
過濾器：NF3 必須安裝氟利昂（áng）過濾器（qì）（1830-0027），其他氣體不能安裝氟利昂過濾器。
所有氣體都強烈建議安裝灰（huī）塵過濾器（780248）。
Midas-T-NP1 裂解器安裝完成後，用轉子氣體流量計在過濾器（如有）下端檢查流量，標準
為 500sccm；裂解器剛（gāng）啟（qǐ）動時，通過網頁確認流經裂解器（qì）加熱元器件的流量（55-120sccm)；待（dài）
裂解器穩定運行時（shí）（320 ̊C±25 ̊C）,再次確認流經裂解器加熱元器件的流量（最佳值 75sccm,範
圍：55-120sccm，超出此範圍將報 F92），裂解器溫度和流量都在範（fàn）圍之內（nèi），無故障出現，NP1
即可正常工作。
典型問題：
a. 轉子流量計沒有流量：檢查整個氣路的氣密性，重新安裝裂解器，注意進氣管是否自然垂
直，有（yǒu）無扭（niǔ）曲。
b. 轉子流量計流（liú）量低：進行流量標定，如果標定不成功，檢查本體的泵能力（lì），更（gèng）換（huàn）泵或本
體。
c. 裂解（jiě）器達到（dào）額定工作溫度時（shí），本體或流經裂解器的流量不穩定，通過流量標定來調（diào）節穩
定。
3，Midas 探測器（qì）流量標（biāo）定
流（liú）量標（biāo）定（dìng）步驟（zhòu）：
a. 常（cháng）按上下鍵後選擇進入 CAL 菜單；
b. 打勾進入選擇 Flow，打勾確認進入零（líng）點（diǎn）標定（dìng）；
c. 成功後進入 500sccm 標定，根據（jù）外部流量計通過上下鍵調節實際流量到 500sccm；
d. 重複步驟 3 標定第二點（600/650sccm).
e. 完（wán）成流量標定後（hòu）退出，進入監控模式。
4, 流經裂解器流量調節（jiē）
流經裂解器加熱元器件的流量不（bú）在範圍之內(55-120sscm)：通過裂解器標簽下麵的流量調節螺
絲來調（diào）節流經裂解器的流量（參考網頁上顯（xiǎn）示的裂解器（qì）流量（liàng），本（běn）體默認 IP:169.254.60.47,工具
BULLETIN NUMBER: 2018-001 1/25/2018
China Hi-Tech Service Bulletin
為 2.5mm 的內六角（jiǎo）扳手）
a, 確認（rèn） F92 是由流量原因引起的，網頁上裂解器流量不在 55-120sccm 範圍內，Midas 本體的
Event History 內 F92 的 Data 是 0x1000。
b, 撕開 NP1 裂解器的標簽（qiān），發現如圖五的內六角螺絲，此（cǐ）螺絲即為裂解器流量調節螺絲。
c, 打開 Midas 網頁，在裂解器達到穩定工作溫度時（320 ̊C±25 ̊C），觀察流經裂解器的流
量；如果裂解器的流量（liàng）低（低於 55sccm）如圖六，順時針調節內六角螺絲（sī）增大流量，直到穩定
的（de）流量達到（dào） 75-100sccm；如果裂解器的流量高（高於 120sccm）如圖七，逆時針調節內六角螺
絲減小流量，直到穩定的流（liú）量達到 75-100sccm 如圖八；然後複（fù）位 F92 故障。
d, 如果裂解器溫度不能上升，直接按照步驟 c 順時針（zhēn）調節內（nèi）六角螺（luó）絲增大流（liú）量，直到（dào）穩定的
流量達到（dào） 75-100sccm。
e, 如果調節內六角螺絲不能使流經裂解器的流量在 55-120sccm 範（fàn）圍內，請把 NP1 裂解（jiě）器寄
給 Honeywell 檢查（chá）。
HONEYWELL MIDAS-E-NO2 4.00 傳感器
HONEYWELL MIDAS-A-009 7.00 過濾器
HONEYWELL MIDAS-A-009 20.00 過濾器
HONEYWELL MIDAS-A-009 2.00 過濾器
HONEYWELL MIDAS-A-009 15.00 過濾器（qì）
Honeywell MIDAS-T-004G 1.00 主機
Honeywell MIDAS-T-004G 1.00 主機
Honeywell MIDAS-E-COX 4.00 氣體檢測器
Honeywell MIDAS-A-007 35.00 氣體（tǐ）探測器
Honeywell MIDAS-A-007 2.00 氣體探測器
Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
Honeywell MIDAS-E-HCL 2.00 氣體（tǐ）探頭（tóu）
Honeywell MIDAS-E-HCL 18.00 氣體探頭
Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭（tóu）
Honeywell MIDAS-T-NP1 2.00 加熱器
Honeywell MIDAS-A-007 2.00 氣（qì）體探測器
Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭
Honeywell MIDAS-E-HCL 13.00 氣體探頭
Honeywell MIDAS-E-HCL 4.00 氣體（tǐ）探頭
Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭
Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣體探（tàn）測器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣體探測（cè）器
Honeywell MIDAS-T-004G 2.00 主機
Honeywell MIDAS-T-004G 3.00 主（zhǔ）機
Honeywell MIDAS-T-NP1 2.00 加熱器
Honeywell MIDAS-E-HAL 1.00 氣體探（tàn）頭（tóu）
Honeywell MIDAS-E-HAL 4.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-HFU 1.00 探頭
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 10.00 氣體探測器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 2.00 氣體（tǐ）探測（cè）器
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 2.00 氣體探測（cè）器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 78.00 氣體（tǐ）探測器探頭
Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭（tóu）
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 1.00 氣體探（tàn）測器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 2.00 氣體探（tàn）測器探頭
Honeywell MIDAS-T-NP1 4.00 加熱器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 10.00 氣體探（tàn）測器
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 10.00 氣體探測器探頭
Honeywell MIDAS-E-HAL 4.00 氣體探頭（tóu）
Honeywell MIDAS-E-HCL 5.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 3.00 氣體探測器探頭
Honeywell MIDAS-E-NH3 6.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 2.00 氣體探測器探頭
Honeywell MIDAS-A-007 6.00 氣體探（tàn）測器
Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭
Honeywell MIDAS-T-006G 22.00 主（zhǔ）機
Honeywell MIDAS-T-006G 35.00 主機
Honeywell MIDAS-E-HAL 2.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體（tǐ）探測器探頭
Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
HONEYWELL MIDAS-E-B2H 1.00 氣體傳感器
Honeywell MIDAS-E-HAL 1.00 氣體探頭
Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
Honeywell MIDAS-E-HAL 10.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NOX 1.00 傳感（gǎn）器
Honeywell MIDAS-E-H2X 9.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探（tàn）測器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣（qì）體探測器（qì）
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 2.00 氣（qì）體探測器
HONEYWELL MIDAS-E-ASH 2.00 氣體探測器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測器探頭
Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
Honeywell MIDAS-E-H2X 3.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 3.00 氣體探測器探頭
Honeywell MIDAS-E-HAL 5.00 氣體（tǐ）探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 9.00 氣體探測器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣體探測器
Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探（tàn）頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測器探頭
Honeywell MIDAS-T-006G 1.00 主機
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 36.00 氣（qì）體探測器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 23.00 氣體探測器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 50.00 氣體探測器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 250.00 氣體探測器
Honeywell MIDAS-E-HCL 50.00 氣（qì）體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 50.00 氣體探測器（qì）探頭
Honeywell MIDAS-E-PH3 5.00 氣體探測器
Honeywell MIDAS-E-HCL 200.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-TEO 5.00 氣體檢測器探頭
Honeywell MIDAS-E-H2X 1.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-ASH 1.00 氣體探測器探頭
Honeywell MIDAS-E-PH3 2.00 氣體探測（cè）器
Honeywell MIDAS-E-HCL 7.00 氣體（tǐ）探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-TEO 2.00 氣體檢（jiǎn）測器探（tàn）頭
HONEYWELL MIDAS-E-HFX 1.00 氣體探（tàn）測器探頭
Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器（qì）
Honeywell MIDAS-T-006G 90.00 主機
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 6.00 氣體探測器（qì）探頭
honeywell MIDAS-E-XHF 2.00 探頭
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 3.00 氣體探測器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣體探測器
產品總覽
Midas氣體檢測儀使用可（kě）靠的傳感器技術來檢測工廠中（zhōng）許多（duō）關鍵的有毒，環境和可燃氣（qì）體。該設備使用專利技術（shù）調節流量（liàng）並確保無誤檢測氣體，從而監控距離（lí）最（zuì）高可達100英尺（30米）的點。得益於霍尼韋爾（中國（guó））的先進機器人技術，Midas氣體檢測儀可提供無與（yǔ）倫比的質量（liàng）和可靠性：
提高（gāo）可見度和易用性。Midas氣體檢測儀配備有明亮（liàng）的LED燈和直觀的交互式界麵，可為氣體讀數或警報水平提供即時警（jǐng）報。該界麵還包括用於（yú）配（pèi）置，測試和校準的受密碼保護的菜單。
簡易安裝。Midas氣體檢測儀體積（jī）小巧，易於操（cāo）作的金屬底盤，易於安裝。在空（kōng）間緊張（zhāng）的擁擠，複雜的過程環境中，這一點尤（yóu）其重（chóng）要。
大量的應用程序。Midas氣體檢測器具（jù）有易於使用的功能豐富的（de）功能，適用於許多行業應用，包括半導（dǎo）體加工，輕工業製造，大（dà）學（xué）實驗室，航空航天（tiān），廢水等。
其他（tā）功能和優點：
提供（gòng）超過35種氣體，並（bìng）提供2年保修*
帶有板載“電（diàn）子校（xiào）準”證書的智（zhì）能（néng）傳感器盒
3個內置繼電器（C型），用於（yú）警報1、2和（hé）故障
以太網供電（PoE）通信
鍵盤界麵和遠程Web瀏覽器（qì）界麵
可選的Midas Pyrolyzer模塊，可連接到任何Midas氣（qì）體檢測（cè）器
受密碼（mǎ）保護的菜單級別（bié）可保持係統完（wán）整性
明亮的LED和直觀的（de）圖標（biāo）驅動，大型多色背光LCD顯示屏
經過工廠校準（zhǔn）的傳感器（qì），減少了頻繁進行氣體測試的需要
隔離的0-22 mA模擬輸出，帶（dài）有（yǒu）故（gù）障和事件報告
Modbus / TCP以太網可輕（qīng）鬆連接所有控製和報警係統端口（kǒu），以（yǐ）實現控製連接和服務交互
強大（dà）的抽氣泵係統（2年使用壽（shòu）命）可采（cǎi）樣到100英尺
CE標記，具有完全抗射頻幹擾能力
Reflex®傳感器運行狀況檢查，以提高安全性
TempraSureTM溫度補償技術適當
事件（jiàn）記錄以查看傳感器曆史記錄
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用於通用氣體檢測的Midas萃取變送器
MIDAS-T-004
用於NF3氣體檢測的 Midas萃取變送器（第二代（dài））熱解儀模塊
MIDAS-T-00P Midas熱解儀模塊
Midas高溫熱解儀模塊（kuài）
MIDAS-T-0P3 Midas高溫度（dù）熱解（jiě）儀模塊
用於Midas變送器連接的LonWorks模塊
MIDAS-T-LON Midas.LonWorks接口模塊
用於外部變送器連接的Quad LonWorks模塊
MIDAS-A-035 Midas.Quad LonWorks模塊
Midas傳感器盒
MIDAS-S-NH3氨（NH3）
MIDAS-S-ASH砷化氫（AsH3），鍺烷（GeH4）
MIDAS-S-HCL三氯化硼（BCl3），二氯矽烷（H2Cl2Si），溴化氫（HBr）氯化氫（HCl）
MIDAS-S-HFL三氟化硼（BF3），氟（fú）化氫HF（低含量），六氟化鎢（WF6）（低）***
MIDAS-S-HFX三氟化硼（BF3），氟化氫（HF），三氟（fú）化氮（ NF3）*六氟化（huà）鎢（WF6）
MIDAS-S-BR2溴（Br2），二氧化氯（ClO2）
MIDAS-S-COX一氧化碳（CO）
MIDAS-S-HAL氯（Cl2），氟（F2）
MIDAS-S -B2H乙硼（péng）烷（B2H6）
MIDAS-S-H2X氫（H2）
MIDAS-S-HCN氰化氫（HCN）
MIDAS-S-H2S硫化氫（qīng）（H2S）
MIDAS-S-LEL氫（H2），甲烷（CH4）
MIDAS -S-NOX一氧化氮（NO）
MIDAS-S-NO2二氧化氮（dàn）（NO2）
MIDAS-S-O2X氧（O2）
MIDAS-S-O3X臭氧（O3）
MIDAS-S-O3H臭氧（O3）（高水平）
MIDAS-S-PH3磷化氫（qīng）（PH3）
MIDAS-S-SHL矽烷（SiH4）（低水平）
MIDAS-S-SHX矽（guī）烷（SiH4），乙（yǐ）矽烷（wán）（Si2H6）
MIDAS -S-SO2二氧（yǎng）化硫（SO2）
MIDAS-S-TEO TEOS
MIDAS-S-XCF二（èr）氟甲烷（CH2F2），六（liù）氟丁（dīng）二烯（C4F6）**，八氟環戊烯（C5F8）**，0-40 ppm，0-240 ppm，0 -40 ppm
MIDAS-S-XHF三（sān）氟化氮（NF3）*，氟化甲基（CH3F）**，0-40ppm，0-120ppm
MIDAS-E-NH3氨（NH3）9-100 ppm
MIDAS-E-ASH砷化氫（ AsH3），Germane（GeH4）18-200 ppb 70-800 ppb
MIDAS-E-HCL三氯化硼（péng）（BCl3），二氯矽烷（H2Cl2Si），溴化（huà）氫（HBr），氯化氫（HCl）0.72-8 ppm
MIDAS-E-HFU氟化氫（HF），六氟化鎢（WF6）0.42-2 ppm 0.22-2 ppm
MIDAS-E-HFL氟化三硼（BF3），氟化氫HF（低含量），六氟化鎢（WF6）（低）*** 0.18-2 ppm
MIDAS-E-HFX三氟化硼（péng）（BF3），氟化（huà）氫（qīng）（HF），三氟化氮（NF3）*六氟化鎢（WF6）0.72-8 ppm 1.05-12 ppm 3.6-40 ppm 1.05- 12 ppm
MIDAS-E-BR2溴（Br2），二氧化氯（ClO2）0.036-0.4 ppm
MIDAS-E-CFX二氟（fú）甲烷（wán）（CH2F2），六氟丁二烯（C4F6）**，氟化甲基（CH3F）**，八（bā）氟環戊烯（C5F8） **，16-240 ppm 3-40 ppm 8-120 ppm 3-40 ppm
MIDAS-E-CFH六氟（fú）丁二烯（C4F6）** 7.2-80 ppm
MIDAS-E-COX一（yī）氧化碳（CO）9-100 ppm
MIDAS-E-HAL氯（Cl2）氟（fú）（F2）“ 0.18-2 ppm 0.36-4 ppm
MIDAS-E-B2H乙硼烷（B2H6）0.036-0.4 ppm
MIDAS-E-H2X氫（qīng）（H2）90-1000 ppm
MIDAS- E-HCN氰化氫（HCN）1.8-20 ppm
MIDAS-E-H2S硫（liú）化氫（H2S）3.6-40 ppm
MIDAS-E-LEL氫（H2），甲烷（CH4）6.5-100％LEL
MIDAS-E-NOX一氧化氮（NO）9-100 ppm
MIDAS-E-NO2二氧化氮（NO2）1.05-12 ppm
MIDAS-E-O2X氧氣（O2）0.2-25％v / v
MIDAS-E-O3X臭氧（O3）0.036- 0.4 ppm
MIDAS-E-O3H臭氧（O3高含量）0.036-0.7 ppm
MIDAS-E-PH3磷化氫（PH3）110-1200 ppb
MIDAS-E-SHL矽（guī）烷（wán）（SiH4）（低含量）0.18-2 ppm
MIDAS- E-SHX矽烷（SiH4），乙矽烷（Si2H6）1.8-20 ppm
MIDAS-E-SO2二氧化硫（SO2）0.7-8 ppm
MIDAS-E-TEO TEOS 3.6-40 ppm
MIDAS-E-XCF二氟甲烷（CH2F2），六氟（fú）丁二烯（C4F6）**，八氟環戊烯（xī）（C5F8）** 0-40 ppm 0-240 ppm 0-40 ppm
MIDAS-I-CO2二（èr）氧化碳IR墨盒0.15-5.0％，0.15％-0,2％v / v
MIDAS-I-N2O氧化亞氮IR墨盒100-1000 ppm
MIDAS-E- XHF三氟化氮（NF3）*，氟化甲基（CH3F）** 0-40ppm 0-120ppm
Midas變送器（qì）和傳感器藥盒套件
MIDAS-K-NH3氨（ān）（NH3）9-100 ppm
MIDAS-K-ASH砷化氫（AsH3） ，鍺烷（GeH4）18-200 ppb 70-800 ppb
MIDAS-K-HCL三氯化硼（BCl3），二氯矽烷（H2Cl2Si），溴化氫（HBr），氯化氫（HCl）0.72-8 ppm
MIDAS-K-HFU氟化氫（HF），六氟化鎢（WF6）0.42-2 ppm 0.22-2 ppm
MIDAS-K-HFX三氟化硼（péng）（BF3），氟化氫（HF），三氟化氮（NF3）*，六氟化鎢（WF6）0.72-8 ppm 1.05-12 ppm 3.6-40 ppm 1.05-12 ppm
MIDAS-K-HFL三氟化硼（BF3），氟化氫HF（低含（hán）量），六氟化鎢（wū）（WF6）（低）*** 0.18 -2 ppm
MIDAS-K-BR2溴（Br2），二氧化氯（ClO2）0.036-0.4 ppm
MIDAS-K-CFX二氟（fú）甲烷（CH2F2），六氟丁二烯（C4F6）**，氟化甲基（CH3F）**，八氟環戊烯（C5F8 ）**，16-240 ppm 3-40 ppm 8-120 ppm 3-40 ppm
MIDAS-K-COX一氧化（huà）碳（CO）9-100 ppm
MIDAS-K-HAL氯（Cl2），氟（F2）0.18- 2 ppm 0.36-4 ppm
MIDAS-K-B2H乙硼烷（B2H6）0.036-0.4 ppm
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