英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3已經停產，替代（dài）型號是WG2F15HRR3
英特格（gé）ENTEGRIS，WG2F40RR3已經停產，替代型號（hào）是WG2F15HRR3
英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3已經停產，替代型號是WG2F15HRR3
英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3，Wafergard® II F 微型（xíng）在線（xiàn）氣體過濾器
英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3，Wafergard® II F 微型（xíng）在線氣體（tǐ）過濾器
英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3，Wafergard® II F 微型在線（xiàn）氣體過濾器
這些氣體過濾器推薦用於惰性和反應性氣（qì）體（tǐ），與所有（yǒu）類別的半導體工藝氣體具有（yǒu）出色的兼（jiān）容性，並且易於安裝在狹窄的氣體麵板和櫃中。
PTFE 膜提供（gòng）高效（xiào）過（guò）濾
低壓降降低了較低蒸氣壓氣體（tǐ）的冷凝風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色（sè）的兼容性
適用於惰性氣體和反應性氣體，包括臭氧
應用領域（yù）
Wafergard
II F 微型在線氣體過濾器應用
生命（mìng）科學應用
臭氧應用（氣體）
煤氣櫃和麵板
超純氣體係統
內部處理工具
產品（pǐn）規格
材料
濾芯
由模製 PFA 結構支撐（chēng）的疏水 PTFE 膜
住房 電解拋光 VAR 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 小（xiǎo）於 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3）大於 0.01 µm
揮發物 <10 ppb 水分
去除等級 ≥0.0015微米
內部表麵處理 ≤7 µin Ra
氦氣泄漏等級 合格的 2×10 -10立方厘米/秒
已測試 1×10 -9立方厘米/秒
使用條件 最大入口（kǒu）壓力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最（zuì）大前向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
在 30 slpm 下去除所有顆粒的率大於 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力（lì）的顆粒尺寸為準）
流量等級 參考性能數據
零件編（biān）號
Wafergard
II F 微型在線氣體過濾器零件號（hào）
零件編號（hào） 配件尺寸和類型 長度 應用
WG2FT1BW2 1/4" 對（duì）焊管 89.9 毫（háo）米（3.54 英寸） 半導體
WG2FT1RF2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼（jiān）容）外螺（luó）紋入口/內螺紋出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半導體
WG2FT1RR2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半導體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科學
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封（與世偉洛（luò）克接頭兼容） 73.7 毫米（mǐ）（2.90 英寸） 半導（dǎo）體
ENTEGRIS 過濾器（qì） WGFGMBRR2
ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS 過（guò）濾器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 過濾器 WG2F02RR2
Entegris 過濾器 WG3D40DR2
Entegris 過（guò）濾器 WG3D40DR2
ENTEGRIS WGMXMPRR2
Entegris 過濾器 WGFG21KP0
ENTEGRIS 過濾器（qì） WGPM0GGG2
ENTEGRIS 過濾（lǜ）器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器 WGMXMBSS2
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS 過濾器 WGMXMSRR4
Entegris 過濾器 WG2FT1RR2
ENTEGRIS 濾（lǜ）芯（xīn） WGFG01DS0
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS 過濾器（qì） WGPM0GGT2
ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT4
Entegris 過濾器（qì） WG3NS6RR2
ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 過濾器 WG3NS2RR4
Entegris 過濾器 WG2FT1SS2
ENTEGRIS 過（guò）濾器 WGPMOGGT2
Entegris 過濾（lǜ）器 WG2FT1RR2
entegris 濾芯 CTFG01TPE
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT4
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器（qì） WG3NS8RR2
ENTEGRIS 過濾器 CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 過濾（lǜ）器 WG3NSMSL2
ENTEGRIS 過濾器 WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2
