Chambergard 快速通風擴散（sàn）器
通過減少裝載鎖和傳輸室中的顆粒和排氣時間（jiān）來提高效率和吞吐量（liàng）。

獲得專利的燒結鎳技術在所有應用（yòng）中提供卓越的性（xìng）能
設計能夠去除進入（rù）氣體中大於 0.0015 µm 的顆粒，從而最大限度地減少晶圓缺陷
提供快速排氣，不會幹擾晶圓或向晶圓添加顆粒，從（cóng）而縮短周期時間，同時提高產量
將擴散器的流動特性與高效過濾器相結合，以提高效（xiào）率和吞吐量
輕鬆改造/安裝到現有工具（jù）中，最大限度地（dì）減少停機時間
應用（yòng）領域
Chambergard 快速通風擴（kuò）散器應用
快（kuài）速將氣體排放到大氣中，而不會幹擾腔（qiāng）室中的晶圓或向腔室中的晶圓添加顆粒
產品規格
材料 擴散（sàn）器元件：獲得專利的燒（shāo）結鎳膜（mó）過濾器
  外殼（ké）：316L不鏽鋼
  內部表麵光潔度：≤32 μin Ra
表現 下遊清潔度：額定流量下清潔度小於 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3）大於 0.01 μm
  去除（chú）等級：≥0.0015μm
  可靠性：25°C (77°F) 時最大額定入口壓力下 100,000 次循環可靠性
連接 請參閱數據表
使用條件 請參閱數據表
PART NUMBERS
Chambergard Fast Vent Diffusers Part Numbers
PART NUMBER O-RING SIZE O-RING GROOVE OD OUTLET CONNECTION TYPE O-RING GROOVE ID O-RING GROOVE DEPTH OPERATING CONDITIONS, MAXIMUM INLET PRESSURE WITH OUTLET TO VACUUM OPERATING CONDITIONS, MAXIMUM DIFFERENTIAL PRESSURE OPERATING CONDITIONS, MAXIMUM OPERATING TEMPERATURE INLET CONNECTION TYPE
SI2P134R5 None None In-Line None None 0.5 MPa (75 psi) 0.24 MPa (35 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D16TR2 2-117 26.4 mm (1.03") ISO NW-16, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 20.3 mm (0.79") 1.9 mm (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D228R2 2-117 26.4 mm (1.03") ISO NW-16, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 20.3 mm (0.79") 1.9 mm (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male or female gasket seal fitting or butt weld fitting
WG3D25LR2 2-123 35.9 mm (1.41") ISO NW-25, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 29.8 mm (1.17") 1.9 mm (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D25SR2 2-123 35.9 mm (1.41") ISO NW-25, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 29.8 mm (1.17") 1.9 mm (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D3LBW2 None None None None None 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 20 mm butt weld tube stub
WG3D401R2 2-246 114.3 mm (4.50") ISO NW-100, bolt through 122.4 mm (4.81) 2.6 mm (0.10") 0.25 MPa (35 psi) 0.35 MPa (50 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D40DR2 2-224 52.1 mm (2.05") ISO NW-40, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 44 mm (1.73") 2.6 mm (0.10") 0.3 MPa (45 psi) 0.4 MPa (60 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D40TR2 2-224 52.1 mm (2.05") ISO NW-40, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 44 mm (1.73") 2.6 mm (0.10") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D50DR2 2-229 67.9 mm (2.67") ISO NW-50, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 59.9 mm (2.35") 2.6 mm (0.10") 0.2 MPa (30 psi) 0.3 MPa (45 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
  

ENTEGRISWGPMOGGT2

 

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

 

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

 

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器

 

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器（qì）

 

ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器

 

ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器

 

ENTEGRISLGMXFPRR4

 

ENTEGRISWGFA21KP0過濾器

 

 

 

CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，

美國ENTEGRIS應特格公司簡介：

 

 

 

我們的目的

 

讓技術改變世界

 

作為一家與領先製造商合作（zuò）以實現技術持續進步的全球性公司（sī），我（wǒ）們擁有全球基礎設施，包括戰略位置的製（zhì）造（zào）基地，研發設施和客（kè）戶支持中心。我們進行基礎設施投資，使我們更（gèng）接近全球各（gè）地的客戶。我們的高技能團（tuán）隊成員、設施（shī）和資源都在您需要的地方，以（yǐ）幫助您解決最先進（jìn）的技術挑戰。

 

 

 

圖像

 

產品和解決方案包（bāo）括:

 

過濾產品，用於淨化氣體、流體和（hé）工廠環境

 

分配、控製、分析或運輸過程流體的液體係統和部件

 

安（ān）全儲（chǔ）存和輸送有毒氣體的氣體輸送係統

 

特殊的化學沉（chén）積和清潔（jié）在先進（jìn）的（de）節點

 

 

 

保護半導（dǎo）體晶圓免受汙染和損壞的晶圓載體和托運人（rén）

 

提供高純度表麵的特殊塗層，具有耐磨、防腐蝕和光滑（huá）度（dù）

 

優質石墨和碳化矽高性能應用

 

保護和運輸磁（cí）盤驅動器部（bù）件的托運人和托盤

 

有（yǒu）特色（sè）的信息

 

公司資料簡介

 

公司資料簡介

 

致力於通過廣泛的解決方案組（zǔ）合，協作和創新的產品開發，以及對科學和（hé）應用知識（shí）的關注，解決（jué）客戶最苛刻的工藝挑戰。

 

 

 

我們的核心競爭力

 

創新的科學

 

第四次工業革命來了。人工智能、增強現（xiàn）實、物聯（lián）網——這些不僅僅是趨勢，它（tā）們是改變全球人們（men）生活方式的驅動力。隨著這些新的驅動力和創（chuàng）新速度的加快，人們對更高質量、更高性能的技術的期望也在加（jiā）快。通過我們屢獲殊榮的解決方案和我們（men）的技術專長，我們為客戶提（tí）供創新的、基於科學（xué）的解決方案，以應對最嚴峻的技術挑戰。在integris，我們是創新的科學。

 

 

 

 

 

 

 

材料科學與分析

 

分離科學（xué）

 

膜科（kē）學與工程

 

聚（jù）合物的表征與發展

 

界麵科學

 

汙染源分析（xī）

 

 

 

 

 

先進材料（liào）

 

材料合成和定製配方

 

精密氣體混合物

 

特種塗料

 

石墨、碳化矽和工程碳

 

表麵處理和清洗

 

液體和氣體的（de）儲存和運輸（shū）

 

 

 

 

 

微觀控製

 

尖端液（yè）體過濾和淨化

 

氣體淨化達到萬億分之一(ppt)的水平

 

先進晶圓廠空氣分子（zǐ）汙染(AMC)解決方案

 

Wafer和reticle的處理

 

流體管理，傳感和控製

 

 

 

製造卓越

 

超（chāo）淨組件和材料（liào）製造

 

快速原型和定製

 

領先的質量控製（zhì）集成（chéng）SPC

 

廣泛的全球製造足跡

 

使（shǐ）命、願景和價值觀

 

指導我（wǒ）們做什麽和如何做

 

我們的使命（mìng）

 

通過為先（xiān）進的製造環境提供增強材料（liào）和工藝解決（jué）方案，幫助我們的客（kè）戶提高生產（chǎn）力，性能（néng）和技術

 

CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，

 

 

 

CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF

 

，、

 

CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，CTFA01P01，CTFA01PTF，CTFA01TPE，CTFA02P01，CTFA02TPE，CTFA0SP01，CTFA0SPSF，CTFA0STPE，CTFG01P01，CTFG01PSF，CTFG01PT1，CTFG01PTF，CTFG01TC1，CTFG01TK1，CTFG01TPE，CTFG02P01，CTFG02TPE，CTFG03TPE，CTFG0SP01，CTFG0SPSF，CTFG0SPTF，CTFG0STPE，CTFH01PTF，CTFH01TPE，CTFH02TPE，CTFH03TPE，CTFH0STPE，CTFV01P01，CTFV01PSF

 

 

 

 

 

，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，CTFV02P01，CTFV02TPE，CTFV03TPE，CTFV0SP01，CTFV0SPSF，CTFV0SPTF，CTFV0STPE，CTFZ01P01，CTFZ01PT1，CTFZ01PTF，CTFZ01TC1，CTFZ01TK1，CTFZ01TPE，CTFZ02P01，CTFZ02TPE，CTFZ03TPE，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，EGDZHPX0S，EGDZHPX2F，EGDZHPX2S，EGDZHPXTH，EPFVHPSST，EPFVHPXTW，GDCG01P01，GDCG01TK1，GDCG01TPE，GDCG02P01，GDCG0SP01，GDCG0SPC1，GDCG0SPK1，GDCV01P01，GDCV01TK1，GDCV01TPE，GDCV02P01，GDCV0SP01，GDCV0SPC1，GDCV0SPK1，GDCZ01P01，GDCZ01TK1，GDCZ01TPE，GDCZ02P01，GDCZ0SP01，GDCZ0SPC1，GDCZ0SPK1，GDDGATSST，GDDGATSTH，GDDGATSTT，GDDGATX0F，GDDGATX1F，GDDGATX2F，GDDGATX4F，GDDGATXST，GDDGATXTH，GDDGATXTT，GDDGHPX0F，GDDGHPX0S，GDDGHPX2F，GDDGHPX2S，GDDVATSST，GDDVATSTH，GDDVATSTT，GDDVATX0F，GDDVATX1F，GDDVATX2F，GDDVATX4F，GDDVATXST，GDDVATXTH，GDDVATXTT，GDDVDEV0F，GDDVDEV1F，GDDVD GDDVDEV4F，GDDVHPX0F，GDDVHPX0S，GDDVHPX2F，GDDVHPX2S，GDDZATSST，GDDZATSTH，GDDZATSTT，GDDZATX0F，GDDZATX1F，GDDZATX2F，GDDZATX4F，GDDZATXST，GDDZATXTH，GDDZATXTT，GDDZDEV0F，GDDZDEV1F，GDDZ GDDZDEV4F，GDDZHPX0F，GDDZHPX1S，GDDZHPX2F，GDDZHPX2S，GHPG01P01，GHPG01PLT，GHPG02P01，GHPG02PLT，GHPG0SP01，GHPV01P01，GHPV01PLT，GHPV02P01，GHPV02PLT，GHPV0SP01，GHPZ01P01，GHPZ01PLT，GHPZ02P01，GHPZ02PLT，GHPZ0SP01，PFFG01P4F，PFFG01P4P，PFFG01P6P，PFFG03D4S，PFFV01P4F，PFFV01P4P，PFFV01P6P，PFFV03D4S，PFFZ01P4F，PFFZ01P4P，PFFZ01P6P，PFFZ03D4S，QCCGAT101，QCCGAT1C1，QCCGAT1K1，QCCGATX01，QCCGPF401，QCCGPF801，QCCGSTX01，QCCVAT101，QCCVAT1C1，QCCVAT1K1，QCCVATX01，QCCVATXC1，QCCVATXK1，QCCVPF401，QCCVPF4C1，QCCVPF4K1，QCCVPF801，QCCVPF8C1，QCCVPF8K1，QCCVSTX01，QCCVSTXC1，QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，QCDG15P8P，QCDG30P2P，QCDG30P3F，QCDG30P8P，QCDGATX0F，QCDGATX1F，QCDGATX2F，QCDGATXLH，QCDGATXTF，QCDGATXTH，QCDGATXTW，QCDGPF40F，QCDGPF41F，QCDGPF42F，QCDGPF80F，QCDGPF81F，QCDGPF82F，QCDGPF8LH，QCDGPF8TH，QCDGSTX0F，QCDGSTX1F，QCDGSTX2F，QCDGSTXLH，QCDGSTXTF，QCDGSTXTH，QCDGSTXTW，QCDV15P3F，QCDV15P8P，QCDV30P2P，QCDV30P3F，QCDV30P8P，QCDVATX0F，QCDVATX1F，QCDVATX2F，QCDVATXLH，QCDVATXTF，QCDVATXTH，QCDVATXTW，QCDVPF40F，QCDVPF41F，QCDVPF42F，QCDVPF80F，QCDVPF81F，QCDVPF82F，QCDVPF8LH，QCDVPF8TH，QCDVSTX0F，QCDVSTX1F，QCDVSTX2F，QCDVSTXLH，QCDVSTXTF，QCDVSTXTH，QCDVSTXTW，QCDZ15P3F，QCDZ15P8P，QCDZ30P2P，QCDZ30P3F，QCDZ30P8P，QCDZATX0F，QCDZATX1F，QCDZATX2F，QCDZATXLH，QCDZATXTF，QCDZATXTH，QCDZATXTW，QCDZPF40F，QCDZPF41F，QCDZPF42F，QCDZPF80F，QCDZPF81F，QCDZPF82F，QCDZPF8LH，QCDZPF8TH，QCDZSTX0F，QCDZSTX1F，QCDZSTX2F，QCDZSTXLH，QCDZSTXTH，QCDZSTXTW，